自动仓库制造技术

自动仓库10具备装置主体（10a）和移载装置（26）。装置主体（10a）沿左右上下设有在上表面载置盒（C）的多个固定货架（24）。移载装置（26）通过对盒（C）的凸缘（C1）进行保持来移载盒（C）。移载装置（26）具有铅垂导轨（34）和移载头（36）。铅垂导轨（34）具有位于最上层的固定货架（24）的支撑面（24a）附近的上端（34a）。移载头（36）是能够沿着铅垂导轨（34）进行升降的部件。移载头（36）具有铅垂臂（36a），该铅垂臂（36a）具有能够对载置于最上层的固定货架（24）的盒（C）的凸缘（C1）进行保持的长度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及自动仓库，尤其涉及在处理装置的附近保管物品的自动仓库。
技术介绍
在半导体或液晶的制造工厂中，在硅晶片或玻璃板等基板上经过薄膜形成、氧化、蚀刻等各种处理结构，从而在基板上形成半导体器件或液晶器件。在盒中收纳有基板，从而基板以盒为单位被桥式搬送车在这种处理装置之间进行搬送。在处理装置与桥式搬送车之间的盒的交接场所，为了调整桥式搬送车和处理装置之间的处理时间而设置有被称为装置前自动仓库的缓冲区(例如参照专利文献I)。以往的装置前自动仓库具备多个固定货架，上下隔开间隔地配置，用于保管盒；以及移载装置，能够在各固定货架之间交接物品。固定货架上下隔开间隔地配置，最上层的固定货架成为与桥式搬送车的盒交接场所。并且，在最下层的固定货架的下方配置有与处理装置的盒交接口。处理装置从载置于该交接口的盒中取出基板进行处理。移载装置面向固定货架的与处理装置侧相反的一侧而配置，在各固定货架之间、以及各固定货架和交接口之间移载盒。通过设置这样的装置前自动仓库，即使由于处理装置或搬送装置的故障而导致盒的供给或搬出停滞，也不会发生系统停机，能够连续地将盒搬入及搬出。在先技术文献专利文献专利文献I :本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤靖久，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：
国别省市：