【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种主轮结构、其制作方法及具有该主轮结构的装置，尤指一种线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置。
技术介绍
太阳能电池目前主要分为结晶硅太阳能电池及非晶硅太阳能电池，其中结晶硅太阳能电池的硅芯片是由硅晶碇切片而来。硅晶碇切片制做硅晶圆的常见方法是利用线切割装置进行自由磨粒的切削作业，例如线切割装置通常包括可旋转的两个导轮及装配在导轮的平行导槽上的线材，使形成多段的并行线锯；而在切削作业时将内含切削粉(如碳化硅等)的切削液浇注于并行线锯上，此时利用马达等牵动并行线锯使切削粉与硅晶锭接触磨擦而产生切割，以将硅晶碇切成均匀薄片。 但为了提高硅晶碇切片的切削速率，前述导轮的长度日益提升，而导致沟槽因CNC(数控机床)加工的问题而出现不一致态样。如，如图I所示，CNC车床刀具由入线端111处开始进行沟槽加工，当加工至出线端112处时，会因车刀磨损导致出线端112的沟槽出现偏心(如图3所示)、毛边、突起、不对称等问题，而有别于图2所示之正V形的沟槽型态。因此，当应用于切削作业时，在出线端112处的线材会因线损而形成较小的线径，而较小线径的线材容易因出线端...
【技术保护点】
一种线切割装置的主轮结构，所述主轮具有主轮本体，所述主轮本体具有相对的一个入线端和一个出线端，所述主轮本体上位于所述入线端和所述出线端之间的部位开设有若干平行的环形的沟槽，其特征在于：若干环形的沟槽之中靠近所述出线端的环形的沟槽为第一沟槽，若干环形的沟槽之中靠近所述入线端的环形的沟槽为第二沟槽，所述第一沟槽为具有对称型态的沟槽。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈钰麟，刘建亿，
申请(专利权)人：昆山中辰矽晶有限公司，
类型：发明
国别省市：
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