θZ 驱动装置和载物台装置制造方法及图纸

在该θZ驱动装置（110）中，以能够沿Z方向、θx方向以及θy方向驱动载物台（30）的方式配置至少3个线圈部（43a、43b以及43c），所述θx方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述θy方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及Θ Z驱动装置和载物台装置，特别是涉及具备沿上下方向(Ζ方向)和旋转方向(Θ Z方向)被驱动的载物台的θ Z驱动装置和载物台装置。
技术介绍
以往，已知具备沿上下方向(Ζ方向)和旋转方向(θ ζ方向)被驱动的载物台的ΘΖ驱动装置和载物台装置(例如，参照专利文献I)。在上述专利文献I的载物台装置的ΘΖ驱动部中，设有ΘΖ驱动致动器(音圈马 达)，并且构成为能够利用该θ ζ驱动致动器使载物台绕Z方向的轴线(θ ζ方向)在±2度的范围转动。另外，在Θ Z驱动部，以隔着载物台对置的方式设有一对Z轴致动器(音圈马达)，并且构成为利用该Z轴致动器使载物台沿Z方向升降。这样，专利文献I的载物台装置的Θ Z驱动部构成为，能够利用Z轴致动器和θ ζ驱动致动器沿Z方向和θ ζ方向驱动载物台。这样的载物台装置用于相对于在半导体制造领域中的曝光装置或半导体检查装置等中设置的光学系统的设备来精密定位半导体晶片等基板。另一方面，近年来，存在半导体晶片等基板薄型化且大径化的趋势，在这样的基板中容易产生翘曲或变形。当在经由基板保持机构被载置于载物台上的基板产生翘曲等的情况下，基板相对于光学系统的设备稍微倾斜。这里，在将载物台装置(Θ Z驱动装置)用于曝光装置或半导体检查装置等的情况下，要求数nm这样水准的基板定位精度，因此，即使在基板相对于水平面稍微倾斜这样的情况下，有时也会在曝光或检查等过程中带来障碍。现有技术文献专利文献专利文献I :日本特开2007-27659号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题可是，在上述专利文献I的载物台装置的Θ Z驱动部中，能够沿Z方向和θζ方向驱动载物台，但无法沿着绕在水平面内正交的X方向和Y方向的各轴的θχ方向和0y方向驱动载物台。因此，在载置于载物台上的基板相对于水平面稍微倾斜的情况等，存在无法驱动载物台来调整倾斜度这样的问题。另外，在上述专利文献I中，虽然也可以考虑追加用于进行θχ方向和Gy方向的驱动的机构，但在这种情况下，可以想到会新产生装置大型化这样的问题。本专利技术是为了解决上述那样的问题而完成的，本专利技术的一个目的在于提供一种能够在抑制装置大型化的同时调整载物台相对于水平面的倾斜度的Θ Z驱动装置和载物台>J-U ρ α装直。用于解决问题的技术方案和专利技术效果为了实现上述目的，本专利技术的第I方面的Θ Z驱动装置具备基座部；载物台，其相对于基座部沿θζ方向和作为上下方向的Z方向被驱动,所述θ ζ方向是以Z方向为旋转中心线的旋转方向；以及一个致动器，其相对于基座部至少沿Z方向驱动载物台，一个致动器包括可动件，其具有多个永久磁铁；和固定件，其设置成沿水平方向与永久磁铁对置，并具有用于沿Z方向驱动载物台的Z方向驱动用线圈，一个致动器的Z方向驱动用线圈被分割成至少3个线圈部，所述至少3个线圈部能够互相独立地供给电流，并且，至少3个线圈部配置成能够沿Z方向、θ X方向以及Qy方向驱动载物台，所述θ X方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述Θ I方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向。在该第I方面的Θ Z驱动装置中，如上所述，将一个致动器的Z方向驱动用线圈分割成能够互相独立地供给电流的至少3个线圈部，并且，以能够沿Z方向、θ X方向以及0y方向驱动载物台的方式配置至少3个线圈部，所述ΘΧ方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述Θ y方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向，由此，能够根据独立地供给到至少3个线圈部的电流，沿Z方向、θ X方向以及Θ y方向驱动载物台，所述θ X方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述Θ y方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向。由此，即使在经由基板保持机构载置于载物台上的基板相对于水平面稍微倾斜的情况等下，也能够利用致动器调整载物台(基板)相对于水平面的倾斜度。另外，利用一个致动器，除了 Z方向外，还能沿θχ方向和Θ y方向驱动载物台，因此，即使在追加了用于进行θχ方向和Qy方向的驱动的机构的情况下，也能够抑制装置大型化。因此，在该第I方面的Θ Z驱动装置中，能够在抑制装置大型化的同时，调整载物台相对于水平面的倾斜度。本专利技术的第2方面的载物台装置具备Θ Z驱动部；Χ方向驱动部，其沿水平面内的X方向驱动Θ Z驱动部；以及Y方向驱动部，其沿水平面内的与X方向正交的Y方向驱动θ Z驱动部，Θ Z驱动部具备基座部；载物台，其相对于基座部沿Θ Z方向和作为上下方向的Z方向被驱动，所述θζ方向是以Z方向为旋转中心线的旋转方向；以及一个致动器，其相对于基座部至少沿Z方向驱动载物台，一个致动器包括可动件，其具有多个永久磁铁；和固定件，其设置成沿水平方向与永久磁铁对置，并具有用于沿Z方向驱动载物台的Z方向驱动用线圈，一个致动器的Z方向驱动用线圈被分割成至少3个线圈部，所述至少3个线圈部能够互相独立地供给电流，并且，至少3个线圈部配置成能够沿Z方向、ΘΧ方向以及07方向驱动载物台，所述ΘΧ方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述Θ y方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向。在该第2方面的载物台装置中，如上所述，将Θ Z驱动部的一个致动器的Z方向驱动用线圈分割成能够互相独立地供给电流的至少3个线圈部，并且，以能够沿Z方向、ΘΧ方向以及ey方向驱动载物台的方式配置至少3个线圈部，所述ΘΧ方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述θ y方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向，由此，能够根据独立地供给到至少3个线圈部的电流，沿Z方向、θ X方向以及方向驱动ΘΖ驱动部的载物台，所述θχ方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述θ y方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋·转方向。由此，即使在经由基板保持机构载置于载物台上的基板相对于水平面稍微倾斜的情况等下，也能够利用Θ Z驱动部的致动器调整载物台(基板)相对于水平面的倾斜度。另夕卜，利用一个致动器，除了 Z方向外，还能沿θχ方向和0 7方向驱动载物台，由此，即使在追加了用于进行ΘΧ方向和Qy方向的驱动的机构的情况下，也能够抑制装置大型化。因此，在该第2方面的载物台装置中，能够在抑制装置大型化的同时，调整θ ζ驱动部的载物台相对于水平面的倾斜度。附图说明图I是示出包括本专利技术的第I实施方式的Θ Z载物台单元的XY Θ Z载物台的整体结构的立体图。图2是示出图I所示的第I实施方式的XY Θ Z载物台的Θ Z载物台单元的内部结构的纵剖视图。 图3是示出图I所示的第I实施方式的XY Θ Z载物台的Θ Z载物台单元的内部结构的立体图。图4是示意性地示出图3所示的第I实施方式的Θ Z载物台单元的卸下框架和旋转工作台后的状态的结构的立体图。图5是用于说明图2所示的第I实施方式的Θ Z载物台单元的内部结构的内部俯视图。图6是将在图2所示的第I实施方式的Θ Z载物台单元中使用的致动器的固定件和可动件放大并示意性示出的纵剖视图。图7是将图6所示的致动器的固定件和可动件放大并示意性示出的俯视图。图8是用于说明在图2所示的第I实施方式的Θ Z载物台单元中使用的致动器的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.07 JP 2010-0882721.一种Θ Z驱动装置，其中， 所述0 Z驱动装置具备 基座部； 载物台，其相对于所述基座部沿Θ Z方向和作为上下方向的Z方向被驱动，所述θζ方向是以Z方向为旋转中心线的旋转方向；以及 一个致动器，其相对于所述基座部至少沿Z方向驱动所述载物台， 所述一个致动器包括可动件，其具有多个永久磁铁；和固定件，其设置成沿水平方向与所述永久磁铁对置，并具有用于沿Z方向驱动所述载物台的Z方向驱动用线圈， 所述一个致动器的Z方向驱动用线圈被分割成至少3个线圈部，所述至少3个线圈部能够互相独立地供给电流，并且，所述至少3个线圈部配置成能够沿Z方向、θ X方向以及Θ y方向驱动所述载物台，所述θ X方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述Θ y方向是以水平面内的与所述X方向正交的Y方向为旋转中心线的旋转方向。2.根据权利要求I所述的ΘZ驱动装置，其中， 所述Θ Z驱动装置还具备至少3个电流供给控制部，所述至少3个电流供给控制部设置成与构成所述Z方向驱动用线圈的至少3个线圈部分别对应，对所述至少3个线圈部单独供给电流。3.根据权利要求2所述的ΘZ驱动装置，其中， 所述Θ Z驱动装置还具备至少3个Z方向位置检测部，所述至少3个Z方向位置检测部设置成与所述至少3个线圈部分别对应，且分别检测所述载物台的与所述至少3个线圈部对应的部分的Z方向的位置， 所述至少3个电流供给控制部构成为，分别根据相对应的所述Z方向位置检测部的位置检测结果，来控制向相对应的所述线圈部供给的电流。4.根据权利要求I 3中的任意一项所述的ΘZ驱动装置，其中， 构成所述Z方向驱动用线圈的所述至少3个线圈部在从Z方向观察时分别具有圆弧形状，并且所述至少3个线圈部以沿圆周方向互相电分离的方式配置成圆状。5.根据权利要求4所述的ΘZ驱动装置，其中， 构成所述Z方向驱动用线圈的所述至少3个线圈部在从Z方向观察时分别具有圆弧形状，且所述线圈部通过沿Z方向层叠配置与3相电力相对应地设置的至少3个单元线圈部而构成。6.根据权利要求I 5中的任意一项所述的ΘZ驱动装置，其中， 构成所述Z方向驱动用线圈的所述至少3个线圈部以大致等旋转角度间隔进行配置。7.根据权利要求I 6中的任意一项所述的ΘZ驱动装置，其中， 所述致动器的固定件除了所述Z方向驱动用线圈外还包括Θ z方向驱动用线圈，所述Θ z方向驱动用线圈用于使所述载物台沿以Z方向为旋转中心线的Θ z方向旋转， 所述Z方向驱动用线圈和所述Θ z方向驱动用线圈被设置成一体，并且被配置成圆环状， 所述致动器构成为，能够沿Z方向、ΘΧ方向、07方向以及ΘΖ方向驱动所述载物台。8.根据权利要求7所述的ΘZ驱动装置，其中， 所述Z方向驱动用线圈和所述θ ζ方向驱动用线圈经由绝缘物被一体地接合。9.根据权利要求7或8所述的ΘZ驱动装置，其中， 构成所述致动器的可动件的永久磁铁包括 第I磁铁列，其包括多个第I永久磁铁，所述多个第I永久磁铁沿圆环状的圆周方向以大致相同的间距间隔配置，所述多个第I永久磁铁的与所述Z方向驱动用线圈和所述Θ Z方向驱动用线圈对置的部分的表面具有第I极性；和 第2磁铁列，其沿Z方向与所述第I磁铁列相邻，并包括多个第2永久磁铁，所述多个第2永久磁铁沿圆环状的圆周方向以大致相同的间距间隔配置，所述多个第2永久磁铁的与所述Z方向驱动用线圈和所述θ ζ方向驱动用线圈对置的部分的表面具有与所述第I极性不同的第2极性， 构成所述第I磁铁列的所述多个第I永久磁铁和构成所述第2磁铁列的所述多个第2永久磁铁以这样的方式进行配置在从Z方向观察时，所述第I永久磁铁和所述第2永久磁铁沿圆周方向交替出现。10.根据权利要求I 9中的任意一项所述的θZ驱动装置，其中， 所述致动器在所述载物台的外周部附近配置成圆环状。11.根据权利要求I 10中的任意一项所述的ΘZ驱动装置，其中， 所述Z方向驱动用线圈由能够互相独立地供给电流的3个线圈部构成。12.根据权利要求I 11中的任意一项所述的ΘZ驱动装置，其中， 所述可动件具有的所述永久磁铁包...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保田义昭，鹿山透，壇洋一郎，河野寿之，丰田昭仁，
申请(专利权)人：株式会社安川电机，
类型：
国别省市：