温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在该θZ驱动装置（110）中，以能够沿Z方向、θx方向以及θy方向驱动载物台（30）的方式配置至少3个线圈部（43a、43b以及43c），所述θx方向是以水平面内的X方向为旋转中心线的旋转方向，所述θy方向是以水平面内的与X方向正交的Y方向...
该专利属于株式会社安川电机所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社安川电机授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。