【技术实现步骤摘要】
本技术涉及属于传动机构领域，具体是一种XY两坐标气浮定位平台，用于微电子行业中的IC芯片封装的精确定位。
技术介绍
目前，在微电子行业中，高速、高精度已成为微电子设备的重要发展趋势，也是工业界与学术界的重要研究内容。随着芯片集成度的不断提高，片引线间距日益减小以及对生产效率的不断提高，对下一代封装设备中定位平台提出了新的要求加速度达到12 15g,定位精度小于I μ m,工作频率为20 40Hz。这些指标已经超过当前设备所带平台的加速度和定位精度的物理极限。 驱动形式上，传统的滚珠丝杠副由于存在丝杠螺母等中间转换环节，传动中不可避免地存在运动间隙，并且运动惯量和摩擦大，影响了系统运动的快速性和高速运行的平稳性，限制了精度、速度和加速度地提高。直线电机是一种直接将电能转化为直线运动机械能，而无需任何转化机构的传动装置。与“旋转电机-滚珠丝杠”方式相比，其优点是无机械连接，摩擦力小，结构简单，体积小，调速范围宽，动态性能好，维护简单等。机构形式上，串联机构中一轴带动另一轴整体运动，导致机构系统惯性量大，结构钢度低，传动链中的摩擦、间隙、回差等误差源容易引起机械谐振，...
【技术保护点】
一种XY两坐标气浮定位平台，其特征是包括底座、X轴基座（2）、X轴导向导轨（3）、X轴直线电机定子（4）、Y轴基座（6）、Y轴直线电机定子（7）、Y轴导向导轨（8）、X轴滑台（5）、Y轴滑台（9）和工作平台（10），底座上采用螺栓固定连接的方式安装了X轴基座（2）和Y轴基座（6），X轴基座（2）上通过螺栓固定连接的方式安装X轴导向导轨（3）和X轴直线电机定子（4），Y轴基座（6）上通过螺栓固定连接的方式安装Y轴导向导轨（8）和Y轴直线电机定子（7），X轴滑台（5）包括X轴电机动子（11）、X轴工作导轨（12）、中间平台（13）和中间导轨（14），Y轴滑台（9）包括Y轴直线电...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：洪荣晶，钟黔，方成刚，
申请(专利权)人：南京工业大学，南京工大数控科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。