一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统及方法，包括相移干涉仪、干涉仪调整架、被测非球面透镜、透镜支架、透镜调整架、对心器、精密旋转轴系、对心器调整架、直线导轨及计算机系统，被测非球面透镜固定在透镜支架上，支架固定在透镜调整架上，透镜调整架放置在直线导轨上；对心器固定在精密旋转轴系上，精密旋转轴系安装在对心器调整架上并放置在直线导轨上；相移干涉仪放置在干涉仪调整架上并固定在直线导轨中间，用干涉仪测得被测非球面透镜上非球面的面形数据，从面形数据中提取出多个同心圆形环带上的数据，根据各环带面形数据的最大、最小值以及相应的相位信息计算出该非球面的顶点位置，进而可以算出该非球面透镜的偏心大小。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于先进光学制造与检测领域，涉及光学检测系统，特别涉及。
技术介绍
高次非球面透镜在成像系统、投影系统、空间相机等领域得到了越来越广泛的应用。相比传统的球面透镜，非球面透镜的偏心在透镜加工完成后就固定不变，而且不能通过后期的装调过程来消除，因此对非球面透镜偏心的高精度定量检测就显得尤为重要，其是 恒量一个非球面透镜是否达到设计指标的重要参数之一。现有的非球面透镜偏心测量方法主要分为接触式测量和非接触式测量两类。其中接触式测量有等厚仪测量、接触式位移传感器测量等，只能用于透镜加工前期的测量，在透镜加工后期有破坏镜面的危险，而且测量精度低；非接触式测量有光束透射测量、光束反射测量、非接触位移传感器测量等，其可用于透镜加工后期的偏心测量。光束透射测量法(HankH. Karow. Fabrication Methods for PrecisionOptics, Wiley, 540, 2004.)和光束反射测量法(杭凌侠，中国专利“CN 201096611Y”)的测量精度均受限于光束的光斑尺寸以及探测器的空间分辨率，非接触位移传感器测量法(泉田丰，中国专利“CN1420339A本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高精度高次非球面透镜偏心测定系统，其特征在于：该测定系统包括相移干涉仪（1）、干涉仪调整架（2）、被测非球面透镜（3）、透镜支架（4）、透镜调整架（5）、对心器（6）、精密旋转轴系（7）、对心器调整架（8）、两个直线导轨（9、10）、以及计算机系统（11），其中计算机系统（11）与相移干涉仪（1）和对心器（6）相连，相移干涉仪（1）放置干涉仪调整架（2）上并固定在两个直线导轨（9、10）的中间，对心器（6）安装在精密旋转轴系（7）上，精密旋转轴系（7）固定在对心器调整架（8）上，对心器调整架（8）放置在两个直线导轨（9、10）上并可自由滑动，先通过对心器（5）观察相移干涉仪第一片透镜的球心...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘海涛，曾志革，伍凡，范斌，万勇建，侯溪，
申请(专利权)人：中国科学院光电技术研究所，
类型：发明
国别省市：