【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于自动化设备
，具体涉及一种带二维角度调节功能的真空吸附\I7. AT D ο
技术介绍
在自动化设备领域，为了满足各种产品的生产工艺并最终制造出质量合格的产品，首先需要解决在生产和品质检测过程对产品的装夹问题，因此各类装载夹具应运而生，针对光学元件、晶圆、精密加工件等对制造工艺和品质要求严格的精密元件，在制造、品质检测及搬运过程中的装夹要求更高，一旦因装载夹具问题，则极易导致产品最终不符合要求。·传统应用于该领域的装载夹具，一般将精密元件的基准平面放置在具有很高平面度的装载平台上，再利用固定件进行固定，以使得其在制造、品质测量及搬运过程中保持稳定，便于提高加工和测量精度和搬运过程中的可靠性。但这种方式会导致如下问题I)直接放置在具有高平面度的装载平台上，会造成放置不稳定。因为精密元件的基准面平面度不一定也很高，最终与装载平台接触也只能是点接触，最终导致不易放平；2)精密元件由于是直接放置在装载平台上的，需要外部固定，而为了便于固定后预留出足够的制造、品质检测工艺空间，一般都只能是通过这些元件边缘来进行固定，这样导致这些元件边缘局部受力，造成应...
【技术保护点】
一种带二维角度调节功能的真空吸附平台，其特征在于：包括底座（2）、固定底座（3）、真空吸盘（4）、二维角度调整座（5）和抽气管（6）；其外部装置为真空泵；其中，所述底座（2）为上下两台阶段结构；在所述真空吸盘（4）中心位置开有吸附气腔（8），在所述真空吸盘（4）的外端面开有吸附气槽（7）；所述二维角度调整座（5）由第一调整层、第二调整层、第三调整层、垂直柔性铰链（13）和水平柔性铰链（14）组成；所述垂直柔性铰链（13）设在第二调整层和第三调整层之间，所述水平柔性铰链（14）设在第一调整层和第二调整层之间；其连接关系在于：所述固定底座（3）固定安装在所述底座（2）的上台阶段...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：夏发平，
申请(专利权)人：昆山允可精密工业技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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