用于控制激光器系统的有效工作温度的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种控制激光器系统有效工作温度的装置，所述激光器系统主要包括气体高压放电腔体，所述装置包括一个冷却散热系统和一个加热装置。在激光器系统的开机过程中，对激光器系统的放电腔体进行预加热，使所述放电腔体达到有效工作温度；在激光器系统的放电腔体达到有效工作温度后，停止加热，开启放电腔气体高压放电工作运转，而后针对所述放电腔体高压放电运转产热进行冷却散热，使该放电腔体维持在有效工作温度。本实用新型专利技术综合利用了加热和冷却两方面的措施，可以有效地减少激光器系统的预热时间，减少能源消耗，同时有效散热，控温精度高，保障激光器系统在有效工作温度条件下的有效运转。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光器技术领 域，具体涉及一种控制激光器系统的有效工作温度的装置。
技术介绍
气体激光器以特征气体为工作介质，针对相关应用，通过有效的高压气体放电(或激光激励)激励气体产生粒子数反转，形成相应激光波长的激光辐射输出。针对某些特征气体的气体激光器，使其有效运转的有效工作温度(能量输出、能量稳定性、光束质量等激光指标参数的最优化输出温度条件)常高于室温，同时由于涉及到高压气体放电过程，激光腔体内部会伴随产生大量的热量积聚，过高的腔体温度将严重影响激光器运转效能，所以有效的温度控制和腔体散热措施是保障气体激光器良好运转的重要环节。密闭腔体中具有特定成分配比的气体介质在高压放电激励的条件下，通过维持和保障放电电极之间的有效电子密度，形成针对特征增益气体介质的有效轰击泵浦，进而借助于粒子数的反转实现有效的特征波长激光辐射，最终在激光谐振腔的作用下形成放大的激光输出。针对于电激励气体激光器系统，电光转换效率较低，通常低于5%，所以在激光器系统运转过程中，激励电能的注入只有很少一部分被转化为激光输出，而其他大部分电能注入则主要被转化为热能存在于腔体内部，对于维持有效气体放电会产生负面的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于控制激光器系统的有效工作温度的装置，所述激光器系统包括放电腔体，所述装置包括一个冷却散热系统，其特征在于，该装置还包括一个加热装置(7)。

【技术特征摘要】
1.一种用于控制激光器系统的有效工作温度的装置，所述激光器系统包括放电腔体，所述装置包括一个冷却散热系统，其特征在于，该装置还包括一个加热装置(7)。2.如权利要求I所述的控制激光器系统的有效工作温度的装置，其特征在于，所述加热装置(7)是一个加 热带，并安装在所述放电腔体的底部。3.如权利要求2所述的控制激光器系统的有效工作温度的装置，其特征在于，所述冷却散热系统包括有控制冷却散热速率的控制装置￠)，在对所述放电腔体进行预加热后期，该控制装置(6)控制所述冷却散热系统开始冷却散热，并使此时的冷却散热...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵江山，李慧，沙鹏飞，宋兴亮，鲍洋，彭卓君，周翊，王宇，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：实用新型
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