高压激励气体激光器谐振腔散热结构制造技术

本实用新型专利技术涉及气体激光器。一种高压激励气体激光器谐振腔散热结构，包括玻璃放电管和套设在放电管上的金属散热器，所述放电管和散热器之间设有导热层，所述放电管和散热器通过所述导热层导热性连接在一起。本实用新型专利技术提供了一种通过散热器对构成谐振腔的放电管进行冷却的高压激励气体金属激光器谐振腔散热结构，解决了通过水冷的方式对放电管进行冷却使得配套系统变得相当复杂且故障率也有相当大的增加的问题。???（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体激光器，尤其涉及一种气体激光器的散热结构。
技术介绍
现有的通过高压进行激励的气体激光管(以下称为高压激励气体激光器)都为封离的结构形式，即包括放电管、套设在放电管外的水冷管、套设在水冷管外的储气管、电极和谐振腔镜片(包括反射镜和输出镜)构成，放电管、水冷管和储气管都为玻璃管，水冷管和放电管、放电管同储气管都通过高温火焰烧制而熔接在一起从而形成冷却室和储气室，储气室同放电管的两端都连通，在储气腔内充有激光气体。现有的高压激励气体激光器的冷却方式为以冷却水从冷却室的一端通入另一端 流出的方式进行冷却。由于受玻璃宁可断不会弯曲特性的限制，无法进行大面积开孔，也只能用水冷的方式进行冷却。现有的气体激光管都存在以下不足由于利用循环水对放电管冷却，从而使配套系统变得相当复杂，随之故障率也有相当大的增加。在中国专利号为ZL2003101137342、名称为“中功率ニ氧化碳激光管”，中国专利公开号为CNlO 1237115A、名称为“ ー种螺旋水管结构激光管”，中国专利号为ZL2006100535740、名称为“连接式ニ氧化碳激光管”，中国专利公开号为CN101060226A、名称为“光催化封离式ニ氧化碳激光管”，中国专利公开号为CN1564394A，名称为“ニ氧化碳激光管”等专利文献中都公开了不同结构形式的分离式气体激光管，但都没能克服上述不足。
技术实现思路
本技术提供了一种通过散热器对构成谐振腔的放电管进行冷却的高压激励气体激光器谐振腔散热结构，解决了通过水冷的方式对放电管进行冷却使得配套系统变得相当复杂且故障率也有相当大的增加的问题。以上技术问题是通过下列技术方案解决的一种高压激励气体激光器谐振腔散热结构，包括玻璃放电管和套设在放电管上的金属散热器，所述放电管和散热器之间设有导热层，所述放电管和散热器通过所述导热层导热性连接在一起。使用过程中，放电管内的激光气体受到高压激励而产生激光的过程中所释放的热量通过导热层传递给散热器而散失棹。通过设置导热层使放电管和散热器导热性连接在一起，能够在放电管和散热器的配合精度较低的情况下而实现放电管同散热器之间的良好的导热，便于生产与制作。如果通过提高放电管和散热器的连接处的表面光洁度来使放电管同散热器紧密地贴合在一起来实现导热性连接，则有如下不足放电管的平直度要十分高、否则会无法装入散热器内；对散热器用于供放电管穿设用的孔进行表面光洁处理时十分不便，以上都会导致制作时的不便和制作成本的增加。作为优选，所述导热层由填充在放电管和散热器之间的导热胶或导热固体固化而成。用导热胶或导热性固体对放电管和散热器进行导热性连接，将放电管和散热器组装在一起时方便。导热性固定可以用金属钾、钠灯。作为另ー优选，所述放电管的两端同散热器密封连接在一起，在放电管和散热器之间填充有导热液体，所述导热层为由所述导热液体构成的流体层。放电管和散热器之间不会产生局部导热不良的现象，将放电管和散热器拆卸开时方便，便于后续的维护。作为优选，金属散热器内设有储气室。放电管内的气体产生激光后从放电管的一端流到储气室内进行再生，储气室内完成再生的激光气体从放电管的另一端流入放电管内受到高压激励而产生激光。结构紧凑性好。作为优选，所述散热器的表面上设有第一散热翼。能提高散热器的散热效果。作为优选，储气室内设有第二散热翼。能提高散热器的散热效果，能増大激光气体在储气室内流动时的阻尼，有利于激光气体的再生。作为优选，第一散热翼、第二散热翼、储气室都沿放电管的长度方向延伸。能使散 热器通过型材来制作，提高批量生产时的方便性。作为优选，所述散热器为四棱柱形，散热器的外表面设有若干相互平行的沟槽，相邻的沟槽之间形成第一散热翼。使用过程中安装散热器时方便，第一散热翼不会突出散热器的外表面，安全性好。本技术具有下述优点，使玻璃结构的放电管穿设在金属结构的散热器内，产品整体结构牢固且组装方便，当激光气体寿命到后，可以将激光器运回厂家进行换气，实现了激光器的反复使用，反复使用寿命超过十年以上，散热器套在放电管上，放电管温度上升时不易弯曲变形，所发出的激光的稳定性好；通过散热器直接将放电管内的热量散失掉而实现对放电管的冷却，故冷却时无需配套设备、冷却方便；储气室设置在散热器内，结构紧凑。附图说明图I为本技术实施例一的沿长度方向进行剖视的示意图。图2为本技术实施例一的横向剖视示意图。图3为本技术实施例一的使用状态示意图。图中放电管1，散热器2，储气室21，凹坑22，第二散热翼25，沟槽23，第一散热翼24，导热层3，阳极室4，阳极环41，反射镜42，回气管5，端盖6，通孔61，输出镜62，隔离环63，阴极环64。具体实施方式以下结合附图与实施例对本技术作进ー步的说明。实施例一，參见图1，一种高压激励气体激光器谐振腔散热结构，包括玻璃放电管I和套设在放电管I上的金属散热器2。散热器2为型材制作而成。散热器2内设有两个连通的储气室21。储气室21为在制作生产散热器2的型材时一井成型出的。散热器2的两端各设置有一个凹坑22。储气室同凹坑22相贯通。放电管I的两端伸到两个凹坑22内。放电管I和散热器2之间设有导热层3。导热层3用于使放电管I和散热器2导热性连接在一起。导热层3由填充在放电管I和散热器2之间的导热胶固化而成。储气室21内设有第二散热翼25。第二散热翼25沿放电管I的长度方向延伸。第ニ散热翼25为在生产制作散热器2的型材时成型出的。參见图2，散热器2为四棱柱形。散热器2的外表面设有若干相互平行的沟槽23。相邻的沟槽23之间形成第一散热翼24。第一散热翼24沿放电管I的长度方向延伸。第一散热翼24为在生产制作散热器2的型材时成型出的。參见图3，使用时，在位于左端的那个凹坑22内，密封连接上由绝缘材料制作而成的阳极室4，阳极室4同放电管I的左端密封对接在一起，在阳极室4内安装上阳极环41和反射镜42，阳极室4设置有同储气室21相连通的回气管5。在位于右端的那个凹坑22内密封盖设上带通孔61的端盖6，输出镜62密封盖设在通孔61上，在放电管I的右端套有隔离环63，阴极环64安装在隔离环63内，阳极环41和阴极环64分别连接电源的正负极，放电管I内发出的激光从输出镜62输出，热量经导热层3传递给散热器2散失棹。实施例ニ，同实施例一的不同之处为在放电管和散热器的之间填充金属钾来导热。 实施例三，实施例一的不同之处为将放电管的两端同散热器密封在一起，在放电管和散热器的之间填充导热液体，通过该导热液体而形成流体状态的导热层。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种高压激励气体激光器谐振腔散热结构，包括玻璃放电管，其特征在于，还包括套设在放电管上的金属散热器，所述放电管和散热器之间设有导热层，所述放电管和散热器通过所述导热层导热性连接在一起。

【技术特征摘要】
1.一种高压激励气体激光器谐振腔散热结构，包括玻璃放电管，其特征在于，还包括套设在放电管上的金属散热器，所述放电管和散热器之间设有导热层，所述放电管和散热器通过所述导热层导热性连接在一起。2.根据权利要求I所述的高压激励 气体激光器谐振腔散热结构，其特征在于，所述导热层由填充在放电管和散热器之间的导热胶或导热固体固化而成。3.根据权利要求I所述的高压激励气体激光器谐振腔散热结构，其特征在于，所述放电管的两端同散热器密封连接在一起，在放电管和散热器之间填充有导热液体，所述导热层为由所述导热液体构成的流体层。4.根据权利要求I或2或3所述的高压激励气体激光器谐振腔散热结构，其特征在于，金属散热器内设有...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海榕，李鹤群，
申请(专利权)人：杭州新投科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：