多自由度可替换型电极机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多自由度可替换型电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极，该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。该电极机构还可包括位于所述电极工作位置的下方的调节机构，用于调节处于电极工作位置的电极在垂直方向的位置和倾斜角度。所述传动机构可为履带式结构，其包括主动轮、从动轮和围绕主动轮和从动轮的履带，所述多个电极安装于所述履带上。本实用新型专利技术能实现电极在多个自由度的运动，达到不打开放电腔就能调整电极的位置和角度的效果，确保气体激光器的放电腔具有优良的放电性能，延长放电腔的使用寿命。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术属于气体激光器
，具体涉及气体激光器的放电腔，特别是气体激光器放电腔的电极机构。
技术介绍
放电腔是气体放电激光光源的核心关键部件。放电腔一般都包含一对放电电极，加载电压后产生等离子体辐射出激光。放电腔的放电性能优劣直接影响到激光特性；而放电电极的材料、加工及装配精度，预电离方式等是影响放电性能的重要因素。在放电腔的设计加工过程完成后，电极的材料、电极面型加工精度、预电离方式等都已经确定完毕，所以怎样将阴阳电极对准装配是确保优良放电性能的关键步骤。现有的装配方式要么不能多方位调整确保电极的装配精度，要么每次都需要开腔调整，额外增加了开腔时间和开腔后气体钝化时间。另外，放电腔每次放电都会消耗微量的电极材料，而且阳极的消耗量约是阴极的几倍。达到一定放电脉冲数后，需要开腔对放电电极进行处理或者更换，这也会增加开腔时间和开腔后气体钝化时间，相应的缩短了放电腔的使用寿命。
技术实现思路
(一 )要解决的技术问题本技术所要解决的技术问题是现有的气体激光器放电腔的电极机构不易更换和调节，从而影响放电腔的使用寿命的问题。( 二 )技术方案为解决上述技术问题，本技术提供一种电极机构，用于向气本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电极机构，用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，其特征在于，该电极机构包括传动机构(1)和安装在该传动机构(1)上的多个电极(3)，该传动机构(1)用于使该多个电极(3)的每一个移动到所述电极工作位置。

【技术特征摘要】
1.一种电极机构,用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极，其特征在于，该电极机构包括传动机构(I)和安装在该传动机构(I)上的多个电极(3)，该传动机构(I)用于使该多个电极(3)的每一个移动到所述电极工作位置。2.如权利要求I所述的电极机构，其特征在于，所述传动机构(I)为两个，所述多个电极(3)中的每一个的两端分别安装于该两个传动机构(I)上。3.如权利要求I所述的电极机构，其特征在于，还包括一个调节机构(2)，该调节机构(2)位于所述电极工作位置的下方，用于调节处于电极工作位置的电极(3)在垂直方向的位置和倾斜角度。4.如权利要求I所述的电极机构，其特征在于，所述传动机构(I)为履带式结构，其包括主动轮(11)、从动轮(12)和围绕所述主动轮(11)和从动轮(12)的履带(13)，所述多个电极(3)安装于所述履带(13)上。5.如权利要求4所述的电极机构，其特征在于，所述主动轮(11)由一个电机(14)驱动。6.如权利要求4所述的电极机构，其特征在于，还包括对驱动轮(11)和从动轮(12)施加一个预施力的机构，以使驱动轮(11)和从动轮(12)具有相互背离的倾向。7.如权利要求6所述的电极机构，其特征在于，所述从动轮(12)的轴向两侧向外各伸出一个凸部(15)，并在每个凸部(15)的靠近驱动轮(11)的一侧固定一个弹簧5，并使该弹簧5预压缩，以使其对所述凸部(15)产生一个向着远离驱动轮(11)的方向的推力。8.如权利要求4所述的电极机构，其特征在于，在所述传动机构(I)上还安装有托盘(4)，所述电极(3)通过该托盘⑷安装在所述履带(13)上。9....

【专利技术属性】
技术研发人员：陈进新，王宇，
申请(专利权)人：中国科学院光电研究院，
类型：实用新型
国别省市：