下载多自由度可替换型电极机构的技术资料

文档序号:8343397

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本实用新型公开了一种多自由度可替换型电极机构,用于向气体激光器的放电腔提供处于电极工作位置的电极,该电极机构包括传动机构和安装在该传动机构上的多个电极,该传动机构用于使该多个电极的每一个移动到所述电极工作位置。该电极机构还可包括位于所述电极...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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