下载用于控制激光器系统的有效工作温度的装置的技术资料

文档序号:8343398

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本实用新型公开了一种控制激光器系统有效工作温度的装置,所述激光器系统主要包括气体高压放电腔体,所述装置包括一个冷却散热系统和一个加热装置。在激光器系统的开机过程中,对激光器系统的放电腔体进行预加热,使所述放电腔体达到有效工作温度;在激光器系...
该专利属于中国科学院光电研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

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