蓝宝石晶棒定向加工夹具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石晶棒定向加工夹具，包括上工作台与下工作台，在上工作台上固定有夹持套筒，所述夹持套筒的筒壁上沿着其轴向开设有装夹开口，在装夹开口两边位置的夹持套筒上开设有锁紧螺栓孔，在上工作台的下端面具有上圆弧面，在下工作台的上端面具有下圆弧面，上圆弧面与下圆弧面配合，在上工作台上固定有用于安装夹持套筒底座的固定块，在下工作台上固定有用于安装上工作台的固定板。本实用新型专利技术可方便、快捷地实现蓝宝石晶棒角度的连续可调，提高蓝宝石晶棒定向精度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种晶体加工工装夹具，尤其是一种蓝宝石晶棒定向加工夹具。
技术介绍
蓝宝石晶体为各向异性的晶体材料，并具有优异的电、光、热、力学特性。近几年来，随着晶体在光电子、信息产业中应用的扩展，对晶片加工精度提出了很高要求，而作为外延生长基板的晶体材料对晶面角度取向加工精度更是提出了严格要求。因此确保晶体从毛坯加工成成品中晶面角度取向精度是生产高质量器件和基板的重要环节。晶面的角度测试主要包括劳厄法和X射线定向法，由于劳厄法耗时长、精度低，故现行一般采用X射线定向法进行晶面的角度测试。X射线定向法包括定向测角和角度手工矫正，即由X射线定向仪测量晶体几何表面与其内部晶面的夹角，并把测定角度值标在晶棒上，然后在磨床上手工研磨矫正，然后再测量晶面角度，再手工研磨矫正，直到研磨出符合角度精度要求的晶体几何面。晶面角度测试精度和手工矫正精度直接影响晶体几何面加工精度，尤其当晶体硬度很高时，很难通过上述步骤得到高精度晶体几何面。从以上分析可知，传统加工方法工作量大，而且晶棒加工精度低，直接影响产品的成品率和经济效益。公告号为CN201960677U，公告日为2011年09月07日的中国技术专利公开了一种对蓝宝石晶体定向加工的卡具，该卡具包括四周设有四个带螺纹孔的工作台，通过调节与螺纹孔配合的螺钉使工作台实现前后左右不同角度的倾斜，从而可实现固定在工作台上的晶棒角度的连续调节。工作台的两侧还设有定位槽，该定位槽可将卡具固定在平磨机上，减小了传统手工研磨矫正带来的误差。但该技术通过四个调节螺钉实现工作台的倾斜较复杂，方向也不容易控制，且晶棒需要上胶才能固定在工作台上，既花费时间，又浪费资源。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足，提供一种调节方便、高效率、高精度的蓝宝石晶棒定向加工夹具。按照本技术提供的技术方案，所述蓝宝石晶棒定向加工夹具，包括上工作台与下工作台，在上工作台上固定有夹持套筒，所述夹持套筒的筒壁上沿着其轴向开设有装夹开口，在装夹开口两边位置的夹持套筒上开设有锁紧螺栓孔，在上工作台的下端面具有上圆弧面，在下工作台的上端面具有下圆弧面，上圆弧面与下圆弧面配合，在上工作台上固定有用于安装夹持套筒底座的固定块，在下工作台上固定有用于安装上工作台的固定板。在上工作台上螺接有方向调节螺栓，方向调节螺栓的下端穿透所述的上圆弧面。本技术采用上述技术方案取得的有益效果是I、本技术蓝宝石晶棒定向加工夹具通过调节固定块上的锁定螺钉，可使夹持套筒相对上工作台旋转；通过调节上工作台上的方向调节螺栓，可使固定于上工作台的夹持套筒形成一定角度，锁定螺钉与方向调节螺栓的配合调节，可方便、快捷地实现蓝宝石晶棒角度的连续可调，提高蓝宝石晶棒定向精度；2、本技术夹持套筒采用开有浅槽的铝制材料，使夹持套筒具有良好的收缩性，可直接将晶棒紧固其中，可避免需要上胶将晶棒固定带来的不便，即不会对蓝宝石晶棒造成磨损又可将其牢固夹紧，确保晶棒夹持稳定性； 3、本技术蓝宝石晶棒定向加工夹具可将定好向的晶棒连同工作台直接放在装有磁性吸附加工台的磨床上进行加工，解决了传统晶棒加工中需进行多次定向测角和角度手工矫正带来的加工工作量大、加工精度低等问题，可一次完成定向加工操作，提高加工效率和精度。附图说明图I是本技术的主视图。图2是本技术的俯视图。具体实施方式下面结合具体附图和实施例对本技术作进一步说明。如图所示该蓝宝石晶棒定向加工夹具，包括上工作台I与下工作台2，在上工作台I上固定有夹持套筒3，所述夹持套筒3的筒壁上沿着其轴向开设有装夹开口 8，在装夹开口 8两边位置的夹持套筒3上开设有锁紧螺栓孔4，在上工作台I的下端面具有上圆弧面5，在下工作台2的上端面具有下圆弧面6，上圆弧面5与下圆弧面6配合，在上工作台I上固定有用于安装夹持套筒3底座的固定块10，在下工作台2上固定有用于安装上工作台I的固定板7。在上工作台I上螺接有方向调节螺栓9，方向调节螺栓9的下端穿透所述的上圆弧面5。该蓝宝石晶棒定向加工夹具，包括上工作台I与下工作台2，在上工作台I上连接有夹持晶棒的夹持套筒3，上工作台I通过锁定螺钉、固定块10与夹持套筒3底座连接，在上工作台I的两侧还对称设有调节方位的方向调节螺栓9。所述的下工作台2采用铁磁材料，平面磨床的磁性吸附加工台可将其牢固吸附。上工作台I通过方向调节螺栓9可沿与下工作台2相接触的圆弧做相对、配合运动；下工作台2前后对称设置有两个紧固螺钉，上工作台I与下工作台2可通过紧固螺钉与固定板7进行紧固。所述的夹持套筒3采用铝制材料。 所述的夹持套筒3在平行于轴线的圆周上开设f 2处装夹开口 8，并沿着装夹开口8两侧于上、中、下均匀设置三个锁紧螺栓孔4，锁紧螺栓孔4与锁定螺栓配合，可通过调节锁定螺栓控制夹持套筒3的装夹开口 8的开、闭，从而实现蓝宝石晶棒的灵活夹持。所述的夹持套筒3在平行于轴线的圆周上均布浅槽，可实现夹持套筒装夹开口的轻松开闭。工作时，首先将晶棒放置在夹持套筒3中，通过夹持套筒3上的三个锁紧螺栓孔4配合锁定螺栓将晶棒紧固，再将夹持套筒3放于上工作台I上方，使夹持套筒3底座置于上工作台I的固定块10之间，固定块10通过锁定螺钉进行固定，将整套定向加工夹具放置于X定向仪上，通过旋转夹持套筒3、调节方向调节螺栓9，对蓝宝石晶棒进行定向，将锁定螺钉与固定板7拧紧，实现晶棒的定向紧固，最后将整套紧固的定向加工夹具移至平面磨床的磁性吸附加工台上进行加工。·本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石晶棒定向加工夹具，其特征是：包括上工作台（1）与下工作台（2），在上工作台（1）上固定有夹持套筒（3），所述夹持套筒（3）的筒壁上沿着其轴向开设有装夹开口（8），在装夹开口（8）两边位置的夹持套筒（3）上开设有锁紧螺栓孔（4），在上工作台（1）的下端面具有上圆弧面（5），在下工作台（2）的上端面具有下圆弧面（6），上圆弧面（5）与下圆弧面（6）配合，在上工作台（1）上固定有用于安装夹持套筒（3）底座的固定块（10），在下工作台（2）上固定有用于安装上工作台（1）的固定板（7）。

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶棒定向加工夹具，其特征是包括上工作台(I)与下工作台(2)，在上工作台(I)上固定有夹持套筒(3 )，所述夹持套筒(3 )的筒壁上沿着其轴向开设有装夹开口(8)，在装夹开口(8)两边位置的夹持套筒(3)上开设有锁紧螺栓孔(4)，在上工作台(I)的下端面具有上圆弧面(5)，在下工作台(2)的上端面具有下圆弧面(...

【专利技术属性】
技术研发人员：王联，胡浪浪，陈梁，王静，
申请(专利权)人：元亮科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：