【技术实现步骤摘要】
【专利说明】(一)
本技术提供了一种蓝宝石晶棒加工
，具体涉及一种r向与平边位置由特殊要求的c向蓝宝石晶棒a向平边的定位辅助装置。(二)
技术介绍
蓝宝石(Sapphire，又称白宝石，分子式为A1203)单晶是一种用途广泛的基片材料，是当前蓝、紫、白光发光二极管(LED)和蓝光激光器(LD)工业的首选基片(需首先在蓝宝石基片上外延氮化镓薄膜)，也是重要的超导薄膜基片。蓝宝石单晶是一种典型的各向异性晶体，不同方向上晶体性质不同，因此不同晶向的蓝宝石材料用途也不一样。蓝宝石晶体最常用的晶面主要有c、a、m和r面，其中a、m与c面垂直，相邻a面与m面间的夹角为30°，r面与c面间夹角为57° 36'，]"面与111面间夹角为32° 24'。^面为蓝宝石晶体中的非极性面，因此r面在蓝宝石器件中的位置不同，蓝宝石器件的力学、热学、电学以及光学等性能将产生很大差异，这也将影响蓝宝石器件的后续加工性能、加工效率和加工成品率。为了使蓝宝石晶棒及后续蓝宝石制品的晶体结构一致，目前较常用的方法是在蓝宝石晶棒上加工一个a向面，作为加工成晶片后的定位边，使蓝宝石晶片的r向位置...
【技术保护点】
一种c向蓝宝石晶棒a向平边加工定向辅助装置，其特征在于该定向辅助装置为直角梯形台结构，包括斜面、底面和前面，斜面为空心半圆柱面，空心半圆柱的中心轴与底面呈57°36’夹角，与前面呈32°24’夹角，直角梯形台结构的高度与测量板的高度相同，设置在XRD衍射仪样品台上，前面紧贴XRD衍射仪测量板的后面。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：左洪波，杨鑫宏，张学军，袁志勇，
申请(专利权)人：哈尔滨奥瑞德光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：黑龙江;23
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