基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，包括光源系统、全反射系统、光强测量系统、金属薄膜系统、气体分子吸附系统，当气体分子吸附系统吸附了气体分子后，从而影响气体分子吸附系统与金属薄膜系统之间界面上发生共振的条件，该传感器具有高检测灵敏度，器件稳定性好，响应速度快，结构紧凑，工艺简单，成本低廉的特点，特别适用于低浓度气体分子检测。?

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及气体检测仪器，特别是利用光电仪测量表面等离子体在界面上是否发生共振来确定气体分子存在与否的传感器。
技术介绍
石墨烯(graphene)是由碳原子构成的二维晶体，是其它碳材料同素异形体的基本构成单元。2004年,曼彻斯特大学Andre Geim教授领导的研究小组最先发现了石墨烯并立即引起了科学和工业界的广泛关注，石墨烯的发现者更于2010年获得了诺贝尔物理学奖。由于石墨烯具有极高的比表面积(2630m2/g)，因此对气体分子具有非常好的吸附作用。表面等离子体共振(SPR: Surface Plasmon Resonance)是一种物理光学现象。电磁波(如光波)能够激发表面等离子体的振动。表面等离子体共振现象能够通过衰减全反射法进行观测。由于产生表面等离子体共振时将破坏全发射的条件，导致反射光能量急剧下降，在反射光谱上出现共振峰。这个现象非常易于观测，因此表面等离子体共振在传感领域获得广泛应用。目前，基于石墨烯的气体传感器已经见诸报道。具有代表性的实现方式是利用石墨烯在吸附气体分子前后电导率/电阻的变化来判定是否有气体分子附着在石墨烯表面。 利用该方法实现的装置灵敏度不本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是：包括光源系统、全反射系统、光强测量系统、金属薄膜系统、气体分子吸附系统。

【技术特征摘要】
1.一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是包括光源系统、全反射系统、光强测量系统、金属薄膜系统、气体分子吸附系统。2.根据权利要求I所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是当气体分子吸附系统吸附了气体分子后，其介电常数改变所引起表面等离子体共振条件发生改变,来对气体分子进行检测 。3.根据权利要求I所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是所述气体分子吸附系统与金属薄膜系统相接，形成可传输表面等离子波的界面。4.根据权利要求I所述的一种基于表面等离子体共振的石墨烯气体传感器，其特征是所述金属薄膜系统与全反射系统相...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁铮，丁荣，义理林，倪振华，梁贺君，
申请(专利权)人：泰州巨纳新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：