The invention provides a graphene based on silicon (Si) heterojunction passive position sensitive detector, the detector device comprises a Si substrate, located in graphene on Si substrate, the metal electrode is arranged in the metal electrode on graphene and Si in the back of the substrate; the Si is lightly doped Si substrate 1, resistivity of 10 ohm cm; the graphene is few layer graphene monolayer, double or 3 10 layer; graphene on the metal electrode for gold, platinum or nickel metal electrode; the back side of the Si substrate for aluminum. The invention has the advantages that: the passive position of graphene silicon heterojunction based on sensitive detector which is obtained by the invention is based on not only has no power, but also can significantly enhance the minimum limit of the existing silicon based position sensitive detector probe power and the working wavelength and performance index.
【技术实现步骤摘要】
基于石墨烯-硅异质结的无源位置灵敏探测器
本专利技术涉及一种基于石墨烯-硅异质结的无源位置灵敏探测器,本专利技术属光电子器件领域。
技术介绍
位置灵敏探测器是基于横向光电效应的一种位置探测器,目前已广泛应用于距离,位移,角度的测量。极限探测功率是位置灵敏探测器一个重要的参数,现有基于Si的位置灵敏探测器由于响应度低,导致其探测的光强通常在微瓦级别,严重限制其应用范围。比如在激光制导中,核心部件位置灵敏探测组件的最小探测功率Pmin直接决定了工作距离。Si基位置灵敏探测器通常需要加比较大的偏压来保障其探测性能。此外,由于Si基位置灵敏探测器光敏材料只有Si,限制了其工作波长。因此,亟需一种宽波段响应的高灵敏无源位置灵敏探测器。为了实现上述高性能位置灵敏探测器,在Si上复合其他高性能材料是一种不错的选择,这样既可以保留Si基位置灵敏探测器的现有性能,又能弥补其现有的不足。新型二维半导体材料石墨烯(graphene)由于其高迁移率和宽带吸收使之成为光电应用领域最有潜力的候选者。石墨烯作为光敏材料可以吸收从可见到太赫兹的光,结合自身的高迁移率可使载流子在其中扩散很远的距离,这为高性能位置灵敏探测器提供了新的机遇。基于上述背景,本专利技术提出一种基于石墨烯-硅异质结的无源位置灵敏探测器。
技术实现思路
本专利技术提出一种基于石墨烯-硅异质结的无源位置灵敏探测器。以解决现有位置灵敏探测器多项问题,包括功耗(有源),最低极限探测功率,工作波长限制等。本专利技术的技术方案如下:一种基于石墨烯-硅异质结的无源位置灵敏探测器,所述的探测器包括Si衬底、设在Si衬底上的石墨烯,设在 ...
【技术保护点】
一种基于石墨烯‑硅异质结的无源位置灵敏探测器,其特征在于,所述的探测器包括Si衬底、设在Si衬底上的石墨烯,设在石墨烯上的金属电极和设在Si背面的金属电极;所述的Si是轻掺杂Si衬底,电阻率为1‑10 Ω cm;所述的石墨烯是单层、双层或3‑10层的少层石墨烯;所述的石墨烯上金属电极为金、镍或铂;所述的Si衬底背面的金属电极为铝。
【技术特征摘要】
1.一种基于石墨烯-硅异质结的无源位置灵敏探测器,其特征在于,所述的探测器包括Si衬底、设在Si衬底上的石墨烯,设在石墨烯上的金属电极和设在Si背面的金属电极;所述的Si是轻掺杂Si衬底,电阻率为1-10Ωcm;所述的石墨烯是单层、双层或3-10层的少层石墨烯;所述的石墨烯上金属电极为金、镍或铂;所述的Si衬底背面的金属电极为铝。2.如权利要求1所述的基于石墨烯-硅异质结的无源位置灵敏探测器的制备方法,其特征在于,包括如...
【专利技术属性】
技术研发人员:倪振华,王文辉,梁铮,丁荣,
申请(专利权)人:泰州巨纳新能源有限公司,泰州新飞光电有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。