对薄膜提供外加原位应力的装置及其对应力值的测量方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种对薄膜提供外加原位应力的装置，包括千分表、螺杆、螺母、支架、轴承、千分表固定连杆、金属刀片固定架、上金属刀片、下金属刀片、连杆、夹持器和底座，上金属刀片和下金属刀片固定在金属刀片固定架的内壁上，上金属刀片和下金属刀片之间有空隙；连杆的一端固定在金属刀片固定架上，连杆的另一端与千分表的测头相接触。利用该装置进行应力值的测量方法，包括以下步骤：A）薄膜生长在衬底上；B）制备薄膜电容器的上电极；C）固定薄膜；D）施加张应力；E）施加压应力；F)测量位置量；G）测量有效长度；H)测量厚度；I）测算应力值。利用该装置对薄膜提供外加原位应力时，可以避免出现“空程差”，提高测量精度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对薄膜应力效应研究领域，具体地说，涉及一种对薄膜提供外加原位应力的装置，及利用该装置对薄膜应力值的测量方法。
技术介绍
研究薄膜性能对材料的实际应用起着重要作用。薄膜性能包括介电、铁电、铁磁、电导、电容一电压曲线等等，不同材料有不同侧重点。而在薄膜制备过程中衬底失配、热处理及薄膜器件的集成封装等因素都会在薄膜中引入兆帕量级的应力，这种应力对薄膜各方面性能有很大影响，甚至会影响到器件可靠性和使用寿命。因而应力下研究薄膜性能的变化尤为重要。薄膜铁磁性能在外加应力和不加应力情况又有很大差别，通过在有外加应 力作用下与不加外应力作用下的情况比较，可以得到薄膜在应力状态下的相关性能的数据，其结果为分析薄膜的相关性质及进一步性能的改进提供有用的参考。因而方便地测出在应力作用下薄膜性质的改变就显得尤其重要。目前可进行张、压应力下“原位”铁磁性能(剩余极化、矫顽场、疲劳)测试的仪器据我们了解，一方面，美国有，但它用的是大尺寸(2 — 3英寸)的圆形样品，将样品片本身作为小型真空腔的盖子，需要连接真空泵或气源，通过对真空腔抽气或充气使圆片样品中心向下凹陷或向上鼓出，以达到给表面膜面施加本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种对薄膜提供外加原位应力的装置，其特征在于，该装置包括千分表（1）、螺杆（2）、螺母（3）、支架（4）、轴承（5）、千分表固定连杆（6）、金属刀片固定架（7）、上金属刀片（8）、下金属刀片（9）、连杆（10）、夹持器（11）和底座（12），所述的支架（4）的顶部设有通孔，螺母（3）固定连接在支架（4）的顶面，且螺母（3）和支架（4）的通孔同轴，螺杆（2）与螺母（3）相配合，且螺杆（2）的顶端位于支架（4）外侧，螺杆（2）的底端位于支架（4）内侧；轴承（5）和金属刀片固定架（7）位于支架（4）内侧，且轴承（5）套装在螺杆（2）的底部，金属刀片固定架（7）固定连接在轴承（5）的外壁面，上金属刀片...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴秀梅，翟亚，戴玉蓉，陈华，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：