下载对薄膜提供外加原位应力的装置及其对应力值的测量方法的技术资料

文档序号:8299897

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本发明公开了一种对薄膜提供外加原位应力的装置,包括千分表、螺杆、螺母、支架、轴承、千分表固定连杆、金属刀片固定架、上金属刀片、下金属刀片、连杆、夹持器和底座,上金属刀片和下金属刀片固定在金属刀片固定架的内壁上,上金属刀片和下金属刀片之间有空...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。

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