太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，其包括一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；一不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间；一中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆；两块铝质门板，所述铝质门板安装于装置两侧；两块堵头板，所述堵头板分别安装于装置两端；所述上方通管和下方通管与装置内电池片放置区域之间均设有一金属板，所述金属板的厚度与装置内电池片厚度一致。本实用新型专利技术能明显改善装置中反应气体在非晶硅沉积空间内的气流分布的均匀性，进而达到提高对太阳能转换效率的效果。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种非晶硅太阳能电池沉积设备部件，特别涉及一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置。
技术介绍
随着非晶硅太阳能薄膜电池生产技术的日趋成熟，各种非晶硅的太阳能产品遍布全球。其中，等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)生产非晶硅太阳能薄膜电池的工艺已被广泛使用。等离子体增强化学气相沉积技术是借助于辉光放电等离子体使含有薄膜组成的气态物质发生化学反应，从而实现薄膜材料生长的一种新的制备技术。专利号为ZL201120073512. 2，名称为“一种新型大面积沉积非晶硅的反应盒”，就是等离子体增强化学气相沉积技术的一种设备，但采用这种设备来生产的非晶硅太阳能薄膜电池，由于沉积非晶硅时，反应气体的气流分布不均匀，导致沉积的非晶硅层膜厚不够均匀，在一定程度上影响了太阳能电池的转换效率。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，本技术提供了一种能够使沉积非晶硅时反应气体气流分布均匀的太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置。本技术为了解决其技术问题所采用的技术方案是一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，包括一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；—不锈钢下方通管，所述下方通管横本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，包括:一不锈钢上方通管(2)，所述上方通管(2)横截面呈上、中、下三层空间；一不锈钢下方通管(3)，所述下方通管(3)横截面呈上、下两层空间；一中心铝电极板(4)，所述中心铝电极板(4)的一端安装有一铜质电极杆(10)；两块铝质门板(5)，所述铝质门板(5)安装于装置两侧；两块堵头板(11)，所述堵头板(11)分别安装于装置两端；其特征在于：所述上方通管(2)和所述下方通管(3)的内端与装置内待加工的电池片(17)放置区域之间均设有一金属板(12)，所述金属板（12）固定连接在所述铝质门板(5)上，所述金属板(12)的厚度与装置内电池片(17)厚度一致...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周庆明，
申请(专利权)人：江苏庆丰能源有限公司，
类型：实用新型
国别省市：