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本实用新型公开了一种太阳能电池板非晶硅膜均匀沉积专用装置，其包括一不锈钢上方通管，所述上方通管横截面呈上、中、下三层空间；一不锈钢下方通管，所述下方通管横截面呈上、下两层空间；一中心铝电极板，所述中心铝电极板的一端安装有一铜质电极杆；两块铝...
该专利属于江苏庆丰能源有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏庆丰能源有限公司授权不得商用。

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