【技术实现步骤摘要】
本技术属于化工领域,涉及以工业液氨为原料,制备电子工业所需的高纯氨的提纯工艺。
技术介绍
在半导体生产工艺中,高纯氨用于化合物半导体、平板显示、太阳能电池制造及大规模集成电路。随着微电子产业的迅猛发展,特大规模集成电路(VLSI)和发光二极管(LED)制造技术将发生质的飞跃。因此,对高纯氨的纯度的要求越来越高。近年来,我国高纯氨的研制取得了较大进展,纯度接近国外水平。伴随着半导体技术的发展,选择实用高纯氨将是必然。目前,提纯氨的工艺多采用一塔精馏、多级吸附的工艺,有的精馏还是间歇式的,这种工艺流程缺点是工艺参数波动较大,影响产品质量,急待改进。
技术实现思路
本技术是为了弥补上述技术缺陷,提供了一种连续提纯工业氨装置,采用一塔精馏、多级吸附、再精馏的工艺,实现了连续平稳操作,杂质去除率高,从而使产品质量稳定,纯度高达99. 99999%。为了实现上述目的,本技术的技术方案如下一种连续提纯工业氨装置,包括原料罐、过滤器、蒸馏塔、水冷却器、多级吸附器、精馏塔、冷冻液冷凝器、产品储存罐、液氨泵、热水加热釜及流量计;原料罐经管线连接液氨泵,经液氨泵与过滤器相连,然后连接蒸馏 ...
【技术保护点】
一种连续提纯工业氨装置,其特征在于包括原料罐、过滤器、蒸馏塔、水冷却器、多级吸附器、精馏塔、冷冻液冷凝器、产品储存罐、液氨泵、热水加热釜及流量计;原料罐经管线连接液氨泵,经液氨泵与过滤器相连,然后连接蒸馏塔,在蒸馏塔上设有热水加热釜,在蒸馏塔顶部设有水冷却器,经过水冷却器,再次连接过滤器,然后连接多级吸附器,在多级吸附器顶端分别连接过滤器及流量计,流量计另一端直接连接精馏塔,精馏塔顶部设有冷冻液冷凝器,同时,在精馏塔另一端连接热水加热釜,最后连接产品储存罐。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:赵毅,窦明洪,计燕秋,张琳,
申请(专利权)人:大连保税区科利德化工科技开发有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。