用于制造由不同材料制成的两毗邻区域的方法技术

一种用于制备表面（14）的第一和第二毗邻区域的方法，所述第一和第二毗邻区域分别由不同的第一和第二材料形成，所述方法包括：沉积覆盖所述第一区域的第一液体体积（20），所述体积（20）包含分散了所述第一材料的溶剂，沉积覆盖所述第二区域的第二液体体积（22），所述体积（22）包含分散了所述第二材料的溶剂，以及去除所述溶剂。在本发明专利技术中：所述第一和第二体积（20,22）的溶剂不能互溶；在所述第一体积到达所述第二区域之前，将所述第二体积（22）进行沉积，与所述第一体积（20）的沉积同时或连续进行。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及制造由不同材料制成的表面毗邻区域。更具体地，它可用于制造微电子元件，如晶体管。
技术介绍
在表面上制造材料层的常规技术，包括将所述材料分散在溶剂中，在需要涂覆所述材料的目标区域沉积一或数滴如此获得的液体溶液，然后除去溶剂，例如，通过蒸发。但是，当要用不同材料制成数个毗邻区域时，上述制造技术受到了限制，因为区域间的距离缩小。因此，例如，微电子元件如晶体管的制造需要在小区域上沉积数滴液体，同时避免·该相同液体蔓延流到只有数微米之隔的毗邻区域。事实上，所述的毗邻区域因不同的材料而实现不同功能。因此，毗邻区域不应接收非用于该区域的材料，因为这会带来使微电子元件无法使用的风险。目前，要精确地控制沉积在表面的液滴的蔓延方式非常困难，甚至不可能。事实上，液滴的蔓延取决于很多因素，如它的组成，材料，以及接受它的表面的几何形状，环境条件(温度，湿度……)，或沉积的特性(在撞击表面之前，液滴下落的距离和速度，用于沉积液滴的喷嘴的直径以及控制器……)。此外，当制造方法使用含有有机材料和/或溶剂的液滴时，由于在该种沉积中液滴具有强烈的蔓延趋势，会更困难。因此，通过常规沉积液体形成区域需要预先本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·本瓦迪赫，C·谢尔布托维耶，让玛丽·韦里亚克，
申请(专利权)人：原子能与替代能源委员会，
类型：
国别省市：