集成光子应用的具有电感负载的传输线制造技术

一种传输线（304），包括形成电路径（203）的多个区段以及通过所述区段的连续光学波导（205）。多个分离电感器（102）被形成在相邻区段之间并连接所述相邻区段。所述电感器（102）被形成在集成电路的多个金属层中，以便平衡包含在所述光学波导（205）上形成的所述传输线（304）的光学调制器的电容，由此获得所述传输线的预定特征阻抗。使用延迟锁定回路（305）控制变容器（302）以匹配光学信号和电信号的延迟。可以使用光学波导区段（210）来匹配所述延迟。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般地涉及用于集成光子应用的传输线。
技术介绍
超高速光学调制器(例如，大于20千兆字节/秒)经常被实施为行进波(Traveling Wave，TW)结构。TW配置试图分散长调制器的电容，以便其将合理的特征阻抗(而非庞大的集总电容)提供给驱动器电路。TW配置试图使沿着电极行进的微波调制信号的速度匹配同样沿着所述电极行进的被调制的光波。理想的无损耗传输线被设计成具有特征阻抗(Zciu)及微波速度(Vpu)，两者皆高于传输线无负载时的最终有负载设计目标(Zcilj, Vpl)。本文中,无负载意味着传输线并未接触包含光学信号的波导。无负载条件的理想无损耗传输线公式包括 权利要求1.一种传输线,包括 多个区段，其形成一电路径； 连续光学路径，其通过所述区段；以及 分离电感器，所述分离电感器被形成在相邻区段之间并连接所述相邻区段，所述电感器被形成在集成电路的多个金属层中，用以平衡包含所述传输线的光学调制器的电容，以便获得所述传输线的特征阻抗。2.如权利要求I中所述的传输线,其中所述集成电路包括衬底,所述衬底包括半导体材料和聚合材料中的至少一个。3.如权利要求I或2中所述的传输本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：A·雷利亚科夫，C·L·朔，W·M·格林，Y·弗拉索夫，
申请(专利权)人：国际商业机器公司，
类型：
国别省市：