微电子机械可调带通滤波器及制备方法技术

本发明专利技术提出的微电子机械可调带通滤波器包括一组微电子机械电容式串联开关和平面电感（Ｌ），通过简单的控制微电子机械电容式串联开关（ｋｎ）的通断来调节接入滤波网络的电容的大小从而调节滤波器的中心频率点。平面电感（Ｌ）以ＧａＡｓ衬底（１）为衬底，在ＧａＡｓ衬底的上表面两边分别设有传输线，电感线圈（３）通过连接支撑柱与第传输线连接并悬空在氮化硅介质层（９－０）和传输线（２－２）之上；微电子机械电容式串联开关以ＧａＡｓ衬底为衬底，在ＧａＡｓ衬底的上表面有传输线（５）和下拉电极（８），在传输线的一部分和下拉电极上有一层ＳｉＮ介质层（９），在传输线（５－１）上有锚区（６），锚区与开关梁（７）的一端相连，使开关梁悬空在ＳｉＮ介质层的上方。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微电子机械可调带通滤波器，其特征在于该滤波器包括一组微电子机械电容式串联开关（ｋ１～ｋｎ）和与其并联的平面电感（Ｌ），通过控制微电子机械电容式串联开关（ｋｎ）的通断能够调节接入滤波网络的电容的大小从而调节滤波器的中心频率点。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：廖小平，武锐，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]