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集成光子应用的具有电感负载的传输线制造技术
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文档序号:8275135
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一种传输线(304),包括形成电路径(203)的多个区段以及通过所述区段的连续光学波导(205)。多个分离电感器(102)被形成在相邻区段之间并连接所述相邻区段。所述电感器(102)被形成在集成电路的多个金属层中,以便平衡包含在所述光学波导...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。
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