光调制装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种光调制装置，包括：光调制器；绝缘层；RC电路，其包括串联连接的电阻器和电容器；接合线，其连接在所述光调制器和所述RC电路之间；第一金属层，提供在所述绝缘层上；以及第二金属层，其具有比所述第一金属层的宽度更大的宽度并且提供在所述绝缘层上，所述第二金属层与地电位连接，并且经由所述第一金属层连接到所述RC电路。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及光调制装置，具体地，涉及具有匹配电路的光调制装置。
技术介绍
将对传输的光进行调制的光调制器用于光模块等以便进行高速光通信。光调制器根据输入电信号来调制光信号的强度。例如，日本专利申请公开第2005-252251号公开了具有EA (电吸收)光调制器的光模块
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供获得稳定特性的光调制装置。根据本专利技术的一方面，提供了一种光调制装置，包括光调制器；绝缘层；RC电路，其包括串联连接的电阻器和电容器；接合线，其连接在所述光调制器和所述RC电路之间；第一金属层，提供在所述绝缘层上；以及第二金属层，其具有比所述第一金属层的宽度更大的宽度并且提供在所述绝缘层上，所述第二金属层与地电位连接，并且经由所述第一金属层连接到所述RC电路。附图说明图IA示出了光调制装置的俯视图。图IB示出了沿着图IA的线A-A截取的示意性截面视图。图2示出了根据比较示例的光调制装置的电路示图。图3A示出了根据第一实施例的光调制装置的俯视图。图3B示出了沿着图3A的线A-A截取的示意性截面视图。图4示出了根据第一实施例的光调制装置的电路示图。图5A示出了根据第二实施例的光调本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光调制装置，包括：光调制器；绝缘层；RC电路，其包括串联连接的电阻器和电容器；接合线，其连接在所述光调制器和所述RC电路之间；第一金属层，提供在所述绝缘层上；以及第二金属层，其具有比所述第一金属层的宽度更大的宽度并且提供在所述绝缘层上，所述第二金属层与地电位连接，并且经由所述第一金属层连接到所述RC电路。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：平山雅裕，阿部务，
申请(专利权)人：住友电工光电子器件创新株式会社，
类型：发明
国别省市：