蒸汽传输系统技术方案

一种传输系统（10），用于将物质传输至处理室（14）以将所期望的表面性质赋予一个或多个诸如鞋子的大物品，该系统包含：第一容器（16），其用于填充液体物质；第二容器（18），其用于接收来自第一容器（16）的液体物质；第一流量控制装置（20），其用于控制允许从第一容器流向第二容器（18）的液体物质的量；蒸发装置（30），其用于蒸发第二容器中的液体物质；和第二流量控制装置（38），其用于控制从第二容器（18）流向处理室（14）的蒸发物质的流量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于将物质传输至处理室的传输系统，一种操作该传输系统的方法，以及包含这一传输系统的用于对制品表面进行等离子处理的设备。
技术介绍
传输系统至今已知用于将来自高沸点液体的蒸汽传输并计量至真空室，以便在真空室内进行化学或物理处理。这种系统不很适合于液体是化学反应性单体的情况。 在一个已知的起泡器系统中，通过液体的载气泡，吸收蒸汽并将其传输至真空室。在一个已知的蒸发器系统中，产生足够高的蒸汽压(在I托的量级)以经由质量流量控制器将蒸汽传输至真空室。在蒸汽传输系统中，液体被加热并通过小口抽取，典型地由载气协助。起泡器和蒸汽传输系统遭遇需要载气流的缺点，因而对蒸汽/载体组成的可行范围有限定。蒸发器系统具有缺点，即液体必须被加热至足够高的温度，该高温产生能使质量流量控制器正常工作的足够高压，伴随随后的不稳定的风险，包括在液体是单体的情况下聚合的风险。蒸汽传输系统还倾向于或者是由液体中的颗粒污染或者是由于在液体是单体的情况下聚合倾向而阻塞小孔。现有技术欧洲专利申请号EP-A3-1 202 321 (Applied Materials Inc)描述了一种用于将液体前体蒸发并将其传本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于对制品表面进行等离子处理的设备，该设备包含：处理室，制品可以放置在该处理室中；传输系统，其用于将物质传输至处理室以在该室内形成等离子体；用于在该处理室内产生电场的装置，其用于在该物质供应到该处理室时形成等离子体以便该制品的表面能够被处理；及压力控制装置，其用于选择性地控制该处理室内的压力，其中该传输系统包含：第一容器，其用于给液体物质填充；第二容器，其用于接收来自该第一容器的液体物质；第一流量控制装置，其用于控制允许从该第一容器流向该第二容器的液体物质的量；蒸发装置，其用于蒸发该第二容器中的液体物质；及第二流量控制装置，其用于控制从该第二容器流向处理室的蒸发物质的流量，其中该第一流量控...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：马尔科姆·伍德科克，
申请(专利权)人：P二I有限公司，
类型：发明
国别省市：