【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种链式真空炉。
技术介绍
玻封二极管组装过程中的高温焊接目前采用传统的链式炉或真空炉，链式炉焊接芯片在两电极间(玻璃管内)无法固定，电性稳定性较差；真空炉虽可以满足电性要求，跟传统链条炉相比存在能源浪费多，产能低的缺陷
技术实现思路
本专利技术目的是为了解决上述问题，提供一种链式真空炉。本专利技术的技术方案是一种链式真空炉，包括沿水平方向顺次布置的预装料炉室、烧结加热炉室、预冷炉室和冷却炉室，每相邻两炉室之间均通过法兰连接在一起，每相邻两炉室之间均设置有隔热门闸板阀，当所述隔热门闸板阀开启时，相邻两炉室之间连通；当所述隔热门闸板阀闭合时，相邻两炉室之间密封隔开；且每个炉室都设置有独立的抽真空系统，其中 所述预装料炉室上设有进料炉门，预装料炉室内部设有可将预装料炉室内的工件自动输送至所述烧结加热炉室内的送料机构I; 所述烧结加热炉室设置有对工件进行烧结加热的加热系统； 所述预冷炉室和冷却炉室均设置有冷却降温系统，预冷炉室的内部设有可将所述烧结加热炉室内的工件取至该预冷炉室内的取料机构I ;冷却炉室上设有出料炉门，冷却炉室内部设有可将预冷炉室内的...
【技术保护点】
一种链式真空炉，其特征在于该链式真空炉包括沿水平方向顺次布置的预装料炉室（1）、烧结加热炉室（2）、预冷炉室（3）和冷却炉室（4），每相邻两炉室之间均通过法兰（5）连接在一起，每相邻两炉室之间均设置有隔热门闸板阀（8），当所述隔热门闸板阀（8）开启时，相邻两炉室之间连通；当所述隔热门闸板阀（8）闭合时，相邻两炉室之间密封隔开；且每个炉室都设置有独立的抽真空系统，其中：所述预装料炉室（1）上设有进料炉门（1？1），预装料炉室（1）内部设有可将预装料炉室内的工件（10）自动输送至所述烧结加热炉室（2）内的送料机构Ⅰ（1？2）；所述烧结加热炉室（2）设置有对工件（10）进行烧结加...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈盟舜，
申请(专利权)人：苏州群鑫电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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