检查用接触器和检查用夹具制造技术

本发明专利技术提供一种可以应对基板的微细化和复杂化、并在检查时提供强的按压力且在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器和检查用夹具。一种将被检查物的多个检查点与在检查用夹具的电极体上具备的并与检查检查点间的电特性的检查装置电连接的多个电极部电连接的检查用接触器具备：两端具有开口部且前端开口部与电极部的表面抵接的导电性的筒状部件、从筒状部件的后端开口部突出并配置在筒状部件内部、且后端与检查点接触的导电性的棒状部件和将筒状部件与板状部件电连接的固定部，筒状部件具有在筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第一和第二缺口部，第一或第二缺口部在棒状部件与检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种将预先设定在被检查物的检查对象部上的检查点与实施这种检查的检查装置电连接的检查用夹具以及在检查用夹具中使用的检查用接触器。
技术介绍
安装有检查用接触器的检查用夹具经由所述检查用接触器，针对被检查物所具有的检查对象部，从检查装置向规定的检查位置提供电流或电信号，并从检查对象部检测电信号，据此进行检查对象部的电特性的检测、动作测试的实施等。 作为被检查物，例如有印刷线路基板、柔性基板、陶瓷多层线路基板、液晶显示器或等离子显示器等用的电极板、以及半导体封装用的封装基板或膜式载体等各种基板、或半导体晶片、半导体芯片或CSP(芯片尺寸封装，Chip size package)等的半导体装置。在本说明书中，将上述的这些被检查物统称为“被检查物”，将形成在被检查物上的检查对象部称为“检查部”。另外，可以在检查部上设定用于实际地检查所述检查部的电特性的检查点，并通过将接触器压接在所述检查点上而与检查部成为导通状态。这种检查用夹具的接触器的一端压接在布线(检查部)上的检查点上，另一端压接在与基板检查装置电连接的电极部上。另外，经由所述检查用夹具，从基板检查装置提供用于测量布线的电特性的电流或电压，并且将从布线中检测的电信号向基板检查装置发送。这种检查用夹具例如可以例示出在专利文献I中公开的夹具。在专利文献I的检查用夹具中，在导电性可移动体(接触器)上安装有螺旋弹簧。在这种检查用夹具中，接触器在被安装在支架上时，利用螺旋弹簧的收缩而被按压在导电部上，提供了导电部与接触器的良好的接触状态。另外，接触器被调整为，为了破坏在检查点的表面上形成的氧化膜等的绝缘层并与检查点导通接触，使接触器与检查点接触以使螺旋弹簧收缩规定的量(规定长度)而可以获得规定的按压力。特别地，近年来，因为基板设定了大量的检查点，所以也将应与这些检查点对应的接触器大量地安装在支架上。因此，如上所述，如果接触器的数量增加，则收缩的螺旋弹簧也增加，在支架上负担很大的力。负担了很大的力的支架存在因所述的螺旋弹簧的力的作用而整体弯曲的问题。另一方面，要降低施加在支架上的力，就要研究降低螺旋弹簧的弹力，但在收缩规定长度的情况下螺旋弹簧不能提供所希望的按压力，存在接触器与检查点不能通过足够的按压力而导通接触的问题。(现有技术文件)专利文献I :日本特开2003-215160号公报
技术实现思路
(专利技术所要解决的问题)本专利技术提供一种可以应对基板的微细化以及复杂化、并可以在检查时提供强的按压力且可以在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器以及使用这种接触器的检查用夹具。(解决问题的手段)本专利技术的第一方面提供一种将成为被检查对象并具有多个检查点的被检查物与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接的检查用夹具，其特征在于具备具备与所述检查装置电连接的多个电极部的电极体；将所述电极部与所述检查点电连接的检查用接触器；以及保持所述检查用接触器的保持体，其中，所述检查用接触器具备两端具有开口部、且前端开口部与所述电极部的表面抵接的导电性的筒状部件；从所述筒状部件的后端开口部突出并配置在所述筒状部件的内部、且后端与所述检查点接触的导电性的棒状部·件；以及将所述筒状部件与所述棒状部件电连接的固定部，所述保持体具备具有将所述前端开口部向所述电极体引导的第一引导孔的第一板状部件；以及具有将所述棒状部件的后端向所述检查点引导的第二引导孔的第二板状部件，所述筒状部件具有具有与所述电极部的表面接触的前端开口部并将所述棒状部件的前端部容纳在内部的上筒部；形成为与所述上筒部相同的直径并与所述上筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向伸缩的螺旋状的缺口的第一缺口部；形成为与所述第一缺口部相同的直径并与所述第一缺口部连通连接的中筒部；形成为与所述中筒部相同的直径并与所述中筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第二缺口部；以及形成为与所述第二缺口部相同的直径并与所述第二缺口部连通连接、且具备所述固定部的下筒部，所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一个在所述棒状部件与所述检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。本专利技术的第二方面提供一种如上述第一方面所述的检查用夹具，其特征在于，所述第一缺口部和所述第二缺口部的螺旋的节距不同。本专利技术的第三方面提供一种如上述第一或第二方面所述的检查用夹具，其特征在于，所述第一缺口部的缺口宽度与所述第二缺口部的缺口宽度不同。本专利技术的第四方面提供一种将成为被检查对象的被检查物的多个检查点与在检查用夹具的电极体上具备的多个电极部电连接的检查用接触器，所述电极部与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接，所述检查用接触器具备成为前端开口部与所述电极部抵接的电极端的外侧筒体；以及从所述外侧筒体的后端开口部突出并与所述外侧筒体的内部电连接且同轴地配置的、且成为后端部压接在所述检查点上的检查端的导电性的内侧筒体，所述外侧筒体具有具有成为所述电极端的前端开口部的外侧上筒部；与所述外侧上筒部相同直径的、且前端开口部与所述外侧上筒部的后端开口部连通连接并在周面上具备在长轴方向上形成的螺旋状的缺口的筒状的第一缺口部；与所述第一缺口部相同直径的、并与所述第一缺口部连通连接的外侧中筒部；与所述外侧中筒部相同直径的、且与所述外侧中筒部连通连接并在周面上具备在长轴方向上形成的螺旋状的缺口的筒状的第二缺口部；以及与所述第二缺口部相同直径的、且与所述第二缺口部连通连接并具备固定部的外侧下筒部，所述内侧筒体具有具有成为所述检查端的后端部的内侧下筒部；以及配置在所述外侧筒体内部的固定部，其中，所述固定部将所述外侧筒体与所述内侧筒体电连接并固定，所述第一缺口部与所述第二缺口部的螺旋的节距不同。(专利技术的效果)根据本专利技术的上述第一和第四方面，由于将导电性的棒状部件同轴地配置在具备两处螺旋状的缺口部的筒状部件的内部且电连接并固定，所以这些筒状部件和棒状部件作为一个检查用接触器而发挥作用。设置在筒状部件上的缺口部一体地形成在筒状部件上，并发挥在长轴方向上收缩的弹性部的作用。即，所述检查用接触器只包括筒状部件、棒状部件和固定部而形成。因此，与使用螺旋弹簧的检查用接触器相比，可以减少零件数量，并简单地形成检查用接触器。另外，所述检查用接触器提供一种可以在检查时提供强的按压力而在非检查时提供弱的按压力的微细的接触器以及使用所述接触器的检查用夹具。根据本专利技术的上述第二方面，由于第一缺口部与第二缺口部的螺旋节距不同，所 以可以简便地产生检查时和非检查时的按压力之差。根据本专利技术的上述第三方面，由于第一缺口部与第二缺口部的缺口宽度不同，所以可以简便地产生检查时和非检查时的按压力之差。附图说明图I是表示本专利技术的检查用夹具的概略结构图。图2是本专利技术的检查用接触器的概略剖面图。图3是本专利技术的检查用接触器的筒状部件的概略剖面图。图4是本专利技术的检查用接触器的棒状部件的概略剖面图。图5是表示本专利技术的检查用接触器的安装状态的概略剖面图。图6是表示本专利技术的检查用夹具的检查时的动作状态的概略剖面图。(附图标记说明)I :检查用夹具；2 :检查用接触器；21 :筒状部件；22 :棒状部件23 :固定部；3 :保持体；31 :第一板状部件；31h :第一引导孔32 :第二板状部件；3 1 :本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种将成为被检查对象并具有多个检查点的被检查物与检查所述检查点间的电特性的检查装置电连接的检查用夹具，其特征在于具备：具备与所述检查装置电连接的多个电极部的电极体；将所述电极部与所述检查点电连接的检查用接触器；以及保持所述检查用接触器的保持体，其中，所述检查用接触器具备：两端具有开口、且前端开口部与所述电极部的表面抵接的导电性的筒状部件；从所述筒状部件的后端开口部突出并配置在所述筒状部件的内部、且后端与所述检查点接触的导电性的棒状部件；以及将所述筒状部件与所述棒状部件电连接的固定部，所述保持体具备：具有将所述前端开口部向所述电极体引导的第一引导孔的第一板状部件；以及具有将所述棒状部件的后端向所述检查点引导的第二引导孔的第二板状部件，所述筒状部件具有：具有与所述电极部的表面接触的前端开口部并将所述棒状部件的前端部容纳在内部的上筒部；形成为与所述上筒部相同的直径并与所述上筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第一缺口部；形成为与所述第一缺口部相同的直径并与所述第一缺口部连通连接的中筒部；形成为与所述中筒部相同的直径并与所述中筒部连通连接、且在所述筒状部件的壁部形成在长轴方向上伸缩的螺旋状的缺口的第二缺口部；以及形成为与所述第二缺口部相同的直径并与所述第二缺口部连通连接、且具备所述固定部的下筒部，所述第一缺口部或所述第二缺口部中的任意一个在所述棒状部件与所述检查点抵接并实施检查时达到收缩的极限。...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：沼田清，
申请(专利权)人：日本电产理德株式会社，
类型：发明
国别省市：