【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种脉冲真空泵自动清洗系统,其特征在于,该系统包括真空泵组件、清洗介质回收截止阀、生产介质回收截止阀、氮气截止阀、蒸气截止阀、真空用气设备截止阀、止回阀,所述的真空泵组件上设有吸气口及排气口,所述的清洗介质回收截止阀及生产介质回收截止阀与排气口连接,所述的氮气截止阀、蒸气截止阀、真空用气设备截止阀与吸气口连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈清,
申请(专利权)人:上海嘉微工程技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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