有机EL显示面板及有机EL显示装置制造方法及图纸

技术编号:8219455 阅读:138 留言:0更新日期:2013-01-18 02:20
本发明专利技术提供能够以低电压进行驱动并且能够实现优异的发光效率的有机EL显示面板以及有机EL显示装置。有机EL显示面板(110)具备基板(10)、第1电极(20)、辅助布线(30)、空穴注入层(40)、功能层以及第2电极(90),空穴注入层(40)以及第2电极(90)的各个连续地形成于第1电极(20)的上方以及辅助布线(30)的上方,第2电极(90)与辅助布线(30)经由空穴注入层(40)电连接,空穴注入层(40)为金属氧化物膜,构成金属氧化物的金属原子以其能够取得的最大化合价的状态以及比该最大化合价低的化合价的状态包含于金属氧化物膜,并且金属氧化物膜包含粒径为纳米级的大小的金属氧化物的晶体(13)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用作为电发光元件的有机电场发光元件(以下称为“有机EL元件”)的有机EL显示面板及有机EL显示装置
技术介绍
近年来,使用有机半导体的各种功能元件的研究开发得到开展,作为代表性的功能元件可列举有机EL元件。有机EL元件是电流驱动型的发光元件,具有在由阳极以及阴极构成的一对电极对之间设置有功能层的结构,所述功能层包含由有机材料构成的发光层。而且,向电极对之间施加电压,使从阳极注入于功能层的空穴与从阴极注入于功能层的电子再结合,通过由此产生的电场发光现象而发光。有机EL元件由于自身进行发光,所以可视性高,并且由于是完全固体元件,所以耐冲击性优异,所以作为各种有机EL显示面板以及有机EL显示装置中的发光元件和/或光源的利用受到关注。·为了提高有机EL元件的发光率,重要的是从电极向功能层高效地注入载流子(空穴以及电子)。一般,为了高效地注入载流子,有效的是设置用于降低向各电极与功能层之间注入时的能量势垒的注入层。其中在配设于功能层与阳极之间的空穴注入层中,使用铜酞菁和/或PEDOT (导电性高分子)等有机物、氧化钥和/或氧化钨等金属氧化物。另外,在配设于功能层与阴极之间的电子注入层中,使用金属配合物和/或噁二唑等有机物、钡等金属。其中,关于将氧化钥和/或氧化钨等金属氧化物作为空穴注入层而使用的有机EL元件,有报告说改善了空穴注入效率和/或寿命(专利文献1、2,非专利文献I ),并有报告说通过与空穴注入层表面的金属氧化物的氧缺陷相类似的构造形成的电子能级影响该改善(非专利文献2)。另一方面,伴随着有机EL显示面板的大尺寸化,需要构成面板的各有机EL像素的从电极连接于电源的布线部的低电阻化。特别是,在顶部发光型的有源矩阵有机EL显示面板中,需要将ITO、IZO等透明电极材料用于共用电极,但这些材料的电阻比较高,所以作为布线部优选尽可能不多使用。关于此,例如,在专利文献3中,作为顶部发光型的有机EL元件,公开了一种有机EL元件,其具有将第2电极(共用电极)连接于辅助布线的构造的布线部,实现了尽可能抑制电阻比较高的共用电极的使用的布线部。在这里,所谓辅助布线,是具有从电源向共用电极供给电子的构造的低电阻布线。辅助布线优选以不遮挡发光部的方式设置于非发光部。另外,在将辅助布线设置于非发光部的情况下,可以设置于共用电极的上部与下部的任何部分,但设置于下部的构造由于能够利用薄膜晶体管和/或像素电极等的形成工序也同时形成辅助布线,所以认为是更优选的构造。现有技术文献专利文献专利文献I :特开2005-203339号公报专利文献2 :特开2007-288074号公报专利文献3 :特开2002-318556号公报非专利文献非专利文献I Jingze Li 等,Synthetic Metals 151, 141 (2005)。非专利文献2 :Kaname Kanai 等,Organic Electronics 11,188 (2010)。非专利文献3 :M. Stolze 等,Thin Solid Films 409,254 (2002)。非专利文献4 :渡边宽己等,有机EL讨论会第7次例会预稿集17 (2008)。非专利文献5 :1. N. Yakovkin 等,Surface Science 601, 1481 (2007)。非专利文献6 :Hyunbok Lee 等,Applied Physics Letters 93, 043308 (2008)。非专利文献7 :中山泰生等,有机EL讨论会第7次例会预稿集5 (2008)。
技术实现思路
作为形成上述的金属氧化物膜的方法,一般使用蒸镀法或者溅射法。在该情况下,考虑在对金属氧化物膜进行成膜的时刻已经先在基板上成膜的层等的耐热性,通常在2000C以下的低温的基板温度下进行成膜。在这里,一般在溅射法中若在低的基板温度下进行成膜,则会抑制被溅射并到达基板的金属氧化物微粒在基板表面的扩散,所以容易形成秩序性较低的非晶体构造的金属氧化物膜。进而,在低的基板温度下进行成膜的情况下,也有报告说难以保持膜组成和/或 膜厚的均匀性(非专利文献3)。在金属氧化物膜为非晶体构造的情况下,接受所注入的空穴的膜中的部位例如与氧缺陷相类似的部位分散存在,所以空穴在膜中的传导通过空穴在该分散存在的部位之间跃迁而进行。但是,为了将其利用于有机EL元件的驱动,需要向有机EL元件施加较高的驱动电压。即,在跃迁传导中空穴传导效率低,所以有元件的驱动电压增大的问题。另一方面,在共用电极的下部具有辅助布线的有机EL元件中,一般在通过同一膜形成像素电极(阳极)与辅助布线之后,进行图案形成。然后,层叠空穴注入层。在这里,铜酞菁和/或PEDOT等空穴注入层优选不形成在辅助布线上。原因是这些空穴注入层不仅一般电阻较高,而且如果形成于辅助布线之上,则阻碍从辅助布线向共用电极供给电子。具体地,这些空穴注入层,其最高被占轨道的结合能被设计成接近一般阳极所使用的ITO等的费米能级,相反最低空轨道的结合能距离该费米能级相当远。因此,从阳极向这些空穴注入层,空穴注入比较容易,但电子注入困难。这在发光部中会有利地起作用,但在辅助布线与共用电极的连接部,不能从使用与阳极相同的材料的辅助布线经由这些空穴注入层向共用电极供给电子,成为布线部的高电阻化的原因。另外,在空穴注入层所使用的材料中,相对于电子会化学不稳定,且如果长时间持续使电子流入,则其自身分解、劣化的情况也较多,结果有可能导致面板特性的下降。因此,这些空穴注入层需要通过图案成膜而不形成于辅助布线之上。作为这样的图案成膜的方法,有1)使用掩模蒸镀和/或丝网印刷、喷墨印刷等在像素电极上进行选择成膜的方法;以及2)在整面成膜形成后,使用光刻法和/或干蚀刻法等仅选择除去辅助布线上的膜的方法。然而,通过任何方法,工序数增加都会使制造成本增大,另外会引起微粒的增加等,导致成品率的下降。进而,图案形成时的抗蚀剂残渣等会作为电阻成分而残留于辅助布线上,有可能牵连到布线部的进一步高电阻化。本专利技术是鉴于以上的课题而实现的,其目的在于提供能够以低电压进行驱动并且能够实现优异的发光效率的有机EL显示面板以及有机EL显示装置。为了达成上述目的,本专利技术的一方式所涉及的有机EL显示面板具备基板;第I电极,其形成于所述基板上或者所述基板内;辅助布线,其与所述第I电极分离地形成于所述基板上或者所述基板内;功能层,其形成于所述第I电极的上方,至少包含发光层;空穴注入层,其介于所述功能层与所述第I电极之间,进行向所述功能层的空穴注入;以及第2电极,其形成于所述功能层的上方;所述空穴注入层以及所述第2电极的各个也连续地形成于所述第I电极的上方以及所述辅助布线的上方;所述第2电极与所述辅助布线经由所述空穴注入层电连接;所述空穴注入层包含金属氧化物膜而构成;构成所述金属氧化物的金属原子以该金属原子能够取得的最大化合价的状态以及比该最大化合价低的化合价的状态包含于所述金属氧化物膜,并且所述金属氧化物膜包含粒径为纳米级的大小的所述金·属氧化物的晶体。 本专利技术的一方式所涉及的有机EL显示面板以及有机EL显示装置,通过包含金属氧化物的金属氧化物膜构成空穴注入层,并且将构成该金属氧化物的金属原子设为最大化合价的本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:小松隆宏大内晓山田隆太藤田浩史藤村慎也西山诚司年代健一菅野恒矢田修平
申请(专利权)人:松下电器产业株式会社
类型:
国别省市:

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