本发明专利技术公开了一种可以在沉积工艺期间与基板精确地对准的有机层沉积设备。所述有机层沉积设备包括：沉积源；沉积源喷嘴单元；图案化缝隙片，与基板分隔开且比基板小，并且具有沿着垂直于第一方向的第二方向布置的多个图案化缝隙。在基板相对于有机层沉积设备沿着第一方向移动的同时执行沉积。图案化缝隙片包括彼此隔开设置的第一对准标记和第二对准标记。基板包括彼此隔开设置的第一对准图案和第二对准图案。所述有机层沉积设备还包括用来拍摄第一对准标记/图案的第一相机组件和用来拍摄第二对准标记/图案的第二相机组件。基板的移动速度与第一相机组件和第二相机组件的拍摄速度同步。
【技术实现步骤摘要】
根据本专利技术的实施例的一个或多个方面涉及一种有机层沉积设备和一种通过利用该有机层沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。
技术介绍
有机发光显示装置与其他显示装置相比具有较大的视角、较好的对比度特性和较快的响应速度，因此作为下一代显示装置而备受关注。有机发光显示装置包括位于彼此相对布置的第一电极和第二电极之间的中间层，该中间层包括发射层。电极和中间层可以通过各种方法形成，方法之一是执行用于电极和中间层中的每一个的单独的沉积方法。当通过使用这样的单独的沉积方法来制造有机发光显示装置时，通常将具有与将要形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模(FMM)设置成紧密地接触基板，并且在FMM上方进行有机材料的沉积，以形成具有期望图案的有机层。
技术实现思路
为了解决使用FMM的单独的沉积方法的缺点，根据本专利技术实施例的一个或多个方面提供了一种可以简单地应用于大规模制造大尺寸的显示装置并且可以在沉积工艺期间相对于基板精确地对准的有机层沉积设备。根据本专利技术实施例的一个方面，提供了一种用来在基板上形成有机层的有机层沉积设备。所述有机层沉积设备包括沉积源，被构造为排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并且包括沿着第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并且具有沿着垂直于第一方向的第二方向布置的多个图案化缝隙。图案化缝隙片在第一方向和第二方向中的至少一个方向上比基板小。在基板与图案化缝隙片隔开并且相对于有机层沉积设备沿着第一方向移动的同时执行沉积。图案化缝隙片包括彼此隔开设置的第一对准标记和第二对准标记。基板包括彼此隔开设置的第一对准图案和第二对准图案。所述有机层沉积设备还包括用来拍摄第一对准标记和第一对准图案的第一相机组件以及用来拍摄第二对准标记和第二对准图案的第二相机组件。基板的移动速度与第一相机组件和第二相机组件的拍摄速度同步，从而当基板与有机层沉积设备适当地对准时，被第一相机组件捕获的第一对准图案的图像基本彼此相同，被第二相机组件捕获的第二对准图案的图像基本彼此相同。沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片可以整体化地形成为一体。沉积源和沉积源喷嘴单元与图案化缝隙片可以通过引导沉积材料的移动的连接构件整体化地连接为一体。连接构件可以形成为密封沉积源、沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的空间。所述多个沉积源喷嘴可以以一定的角度倾斜。所述多个沉积源喷嘴可以包括沿着第一方向布置成两行的沉积源喷嘴。所述两行的沉积源喷嘴可以倾斜成相互面对。所述多个沉积源喷嘴可以包括沿着第一方向布置成两行的沉积源喷嘴，所述两行中的位于沉积源喷嘴单元的第一侧的一行的沉积源喷嘴可以布置成面向图案化缝隙片的第二侧，所述两行中的位于沉积源喷嘴单元的第二侧的另一行的沉积源喷嘴可以布置成面向图案化缝隙片的第一侧。第一对准图案可以包括沿着第一方向布置的多个第一标记，第二对准图案可以包括沿着第一方向布置的多个第二标记，第一对准图案和第二对准图案可以在第二方向上彼此分隔开。 所述多个第一标记的形状和尺寸与所述多个第二标记的形状和尺寸可以相同。所述多个第一标记之间的距离与所述多个第二标记之间的距离可以基本相等。所述多个第一标记和所述多个第二标记中的每个标记可以具有十字形的形状。所述多个第一标记和所述多个第二标记中的每个标记可以具有多边形形状。所述多个第一标记和所述多个第二标记中的每个标记可以具有三角形形状。第一对准图案和第二对准图案可以具有锯齿形形状。基板可以沿着第一方向以基本均匀的速率移动，第一相机组件和第二相机组件可以分别以一定的时间间隔拍摄第一对准图案和第二对准图案，第一相机组件可以捕获均包含第一对准图案的多个图像，第二相机组件可以捕获均包含第二对准图案的多个图像，其中，包含第二对准图案的图像的个数等于包含第一对准图案的图像的个数。第一相机组件和第二相机组件可以位于基板上方，以分别对应于第一对准标记和第二对准标记。所述有机层沉积设备还可以包括控制器，所述控制器基于由第一相机组件和第二相机组件捕获的信息来确定基板和图案化缝隙片彼此对准的程度。通过将由第一相机组件拍摄的第一对准图案和第一对准标记的图像之间的第一距离与由第二相机组件拍摄的第二对准图案与第二对准标记的图像之间的第二距离进行比较，控制器可以确定基板和图案化缝隙片在垂直于第一方向的第二方向上彼此对准的程度。通过将由第一相机组件捕获的第一对准标记的图像与由第二相机组件捕获的第二对准标记的图像进行比较，控制器可以确定图案化缝隙片在第一方向上是否倾斜。控制器可以确定第一对准标记的被捕获图像和第二对准标记的被捕获图像在第一方向上的位置之间的差异，可以在第二对准标记的被捕获图像位于第一对准标记的被捕获图像的前面时确定图案化缝隙片在第一方向上朝着第一对准标记倾斜，并且可以在第二对准标记的被捕获图像位于第一对准标记的被捕获图像的后面时确定图案化缝隙片在第一方向上朝着第二对准标记倾斜。通过将第一对准图案的被第一相机组件捕获的图像与第二对准图案的被第二相机组件捕获的图像进行比较，控制器可以确定基板在第一方向上是否倾斜。控制器可以确定第一对准图案的被捕获图像和第二对准图案的被捕获图像在第一方向上的位置之间的差异，可以在第二对准图案的被捕获图像位于第一对准图案的被捕获图像的前面时确定基板在第一方向上朝着第一对准图案倾斜，并且可以在第二对准图案的被捕获图像位于第一对准图案的被捕获图像的后面时确定基板在第一方向上朝着第二对准图案倾斜。基于通过控制器确定的对准的程度，可以通过移动基板或图案化缝隙片使基板和图案化缝隙片彼此对准。图案化缝隙片还可以包括在第一方向上与第一对准标记分隔开的第三对准标记和在第一方向上与第二对准标记分隔开的第四对准标记。第一对准标记和第三对准标记之间的距离可以等于第二对准标记和第四对准标记之间的距离。第一对准标记和第二对准标记可以沿着第二方向相互分隔开，第三对准标记和第 四对准标记可以沿着第二方向相互分隔开。第一对准标记和第二对准标记之间的距离可以基本等于第三对准标记和第四对准标记之间的距离。所述有机层沉积设备还可以包括第三相机组件和第四相机组件。第三相机组件和第四相机组件可以位于基板上方，以分别对应于第三对准标记和第四对准标记。根据本专利技术的另一方面，提供了一种用来在基板上形成有机层的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括沉积源，被构造为排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并且包括沿着第一方向布置的多个沉积源喷嘴；图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并且具有沿着第一方向布置的多个图案化缝隙，图案化缝隙片在第一方向和基本垂直于第一方向的第二方向中的至少一个方向上比基板小；障碍板组件，包括多个障碍板，所述多个障碍板沿着第一方向位于沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间并且将沉积源喷嘴单元和图案化缝隙片之间的沉积空间划分为多个子沉积空间。有机层沉积设备和基板相互分隔开。有机层沉积设备或基板在沉积过程中相对于另一者移动。基板包括彼此隔开设置的第一对准图案和第二对准图案。图案化缝隙片包括彼此隔开设置的第一对准标记和第二对准标记。所述有机层沉积设备还包括用来拍摄第一对准标记和第一对准图案的第一相机组件以及用来拍摄第二对准标记和第二对准图案的第二相机组件。基板的移动速本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用来在基板上形成有机层的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：沉积源，被构造为排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并且包括沿着第一方向布置的多个沉积源喷嘴；以及图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并且具有沿着垂直于第一方向的第二方向布置的多个图案化缝隙，图案化缝隙片在第一方向和第二方向中的至少一个方向上比基板小，其中，在基板与图案化缝隙片隔开并且相对于有机层沉积设备沿着第一方向移动的同时执行沉积，图案化缝隙片包括彼此隔开设置的第一对准标记和第二对准标记，基板包括彼此隔开设置的第一对准图案和第二对准图案，所述有机层沉积设备还包括用来拍摄第一对准标记和第一对准图案的第一相机组件以及用来拍摄第二对准标记和第二对准图案的第二相机组件，基板的移动速度与第一相机组件和第二相机组件的拍摄速度同步，从而当基板与有机层沉积设备适当地对准时，被第一相机组件捕获的第一对准图案的图像基本彼此相同，被第二相机组件捕获的第二对准图案的图像基本彼此相同。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：蒋允豪，柳在光，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：
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