【技术实现步骤摘要】
根据本专利技术的实施例的一个或多个方面涉及一种有机层沉积设备和一种通过利用该有机层沉积设备来制造有机发光显示装置的方法。
技术介绍
有机发光显示装置与其他显示装置相比具有较大的视角、较好的对比度特性和较快的响应速度，因此作为下一代显示装置而备受关注。有机发光显示装置包括位于彼此相对布置的第一电极和第二电极之间的中间层，该中间层包括发射层。电极和中间层可以通过各种方法形成，方法之一是执行用于电极和中间层中的每一个的单独的沉积方法。当通过使用这样的单独的沉积方法来制造有机发光显示装置时，通常将具有与将要形成的有机层的图案相同的图案的精细金属掩模(FMM)设置成紧密地接触基板，并且在FMM上方进行有机材料的沉积，以形成具有期望图案的有机层。
技术实现思路
为了解决使用FMM的单独的沉积方法的缺点，根据本专利技术实施例的一个或多个方面提供了一种可以简单地应用于大规模制造大尺寸的显示装置并且可以在沉积工艺期间相对于基板精确地对准的有机层沉积设备。根据本专利技术实施例的一个方面，提供了一种用来在基板上形成有机层的有机层沉积设备。所述有机层沉积设备包括沉积源，被构造为排放沉积材料...
【技术保护点】
一种用来在基板上形成有机层的有机层沉积设备，所述有机层沉积设备包括：沉积源，被构造为排放沉积材料；沉积源喷嘴单元，设置在沉积源的一侧并且包括沿着第一方向布置的多个沉积源喷嘴；以及图案化缝隙片，与沉积源喷嘴单元相对地设置并且具有沿着垂直于第一方向的第二方向布置的多个图案化缝隙，图案化缝隙片在第一方向和第二方向中的至少一个方向上比基板小，其中，在基板与图案化缝隙片隔开并且相对于有机层沉积设备沿着第一方向移动的同时执行沉积，图案化缝隙片包括彼此隔开设置的第一对准标记和第二对准标记，基板包括彼此隔开设置的第一对准图案和第二对准图案，所述有机层沉积设备还包括用来拍摄第一对准标记和第一...
【技术特征摘要】
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