【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及装置制造
,尤其涉及一种元件夹持装置。
技术介绍
高功率固体激光系统中,光学元件是采用四周固定支撑的方式安装在矩形支撑金属框中,然后再将支撑金属框安装到系统中的固定支架上。随着高功率固体激光技术的不断发展,对固体激光的功率和光束质量提出了更高的要求,用于放大激光光路的能量的光学元件的尺寸也随着增大。光学元件尺寸的增大,对使用过程中的夹持方式提出了非常高的要求。一方面,夹 持力需要能够平衡光学元件自身的重力以及在安装过程中的扰动力,避免光学元件从支撑金属框中脱落。另一方面,在高功率激光器运行过程中,光学元件由于受到激光辐照的影响,会产生热形变。热形变包括由材料受热沿轴向的热膨胀、温度变化产生的热应力导致的形变和由于支撑金属框对光学元件的自由膨胀限制而导致的绕曲变形等三部分。对于光学元件夹持方法及装置的研究引起了很多技术人员的关注。参考文献I(中国专利技术专利申请号01273469. I)提出了一种用于激光腔镜及导光系统中反射镜的镜架,激光镜位于镜架内,由压紧螺丝固定,压紧螺丝头部为圆锥头,呈小锥度圆台形,激光镜侧面打三个固定孔,孔口研磨出与压紧 ...
【技术保护点】
一种元件夹持装置,其特征在于,包括:夹持框,用于对元件施加夹持力以固定元件;压力采集单元,用于采集夹持框对元件施加的夹持力,并将夹持力输入到控制单元;控制单元,用于至少根据预设的元件期望变形量,计算夹持框的应该施加的夹持力值,然后驱动夹持框以所述夹持力值对元件施加夹持力。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:苏建华,乔红,董继武,张宇仁,
申请(专利权)人:中国科学院自动化研究所,
类型:发明
国别省市:
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