【技术实现步骤摘要】
本新型有关于ー种机台设备,且特别是有关于ー种具有气浮平台的设备。
技术介绍
气浮平台为提供面板エ件(例如液晶面板或太阳能板等半成品エ件)加工时的输送装置。气浮平台能够结合在加工机台设备上以利半成品エ件进行加工作业。请參阅图IA与图1B,图IA为公知的具有气浮平台的设备其利用气压运送エ件的示意图;图IB为图IA的具有气浮平台的设备其利用气压将エ件运送经过气浮框体的交界处的示意图。如图IA与图IB所示,具有气浮平台的设备5包含平台51与至少ー气浮框体。其 中,平台51上更包含至少ー进气ロ 510。所述至少一气浮框体(例如第一气浮框体521与第二气浮框体522)皆具有连通进气ロ 510的腔室C。其中,第一气浮框体521与第二气浮框体522的表面都具有多数个吹气孔H,且这些吹气孔H连通进气ロ 510。因此,当ー气压分别从进气ロ 510注入第一气浮框体521与第ニ气浮框体522的腔室C吋,此气压便会从吹气孔H被导出进而形成气浮力量,使得エ件6被ー驱动器带动吋,能够同时利用气浮力量而悬浮以避免エ件6 (例如面板)的表面直接接触在第一气浮框体521与第二气浮框体522上所导致 ...
【技术保护点】
一种具有气浮平台的设备,其特征在于,包含:?一平台,包含一进气口;以及至少一气浮框体,配置在该平台并具有连通该进气口的一腔室,该气浮框体包含一第一框斜端、对应该第一框斜端之一第二框斜端以及位于该第一、第二框斜端之间的一本体部,该第一、第二框斜端与该本体部具有一表面以及形成于该表面且连通该腔室的多数个吹气孔。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:施俊良,施国彰,
申请(专利权)人:微劲科技股份有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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