用于测试待测装置的方法及设备制造方法及图纸

公开了一种测试待测装置(130)的概念，该概念包括：从至少一个测试通道集成电路(240-n)接收描述至少一个硬件资源(150)的期望操作的至少一个逻辑控制命令(U-CTRL-n)，所述至少一个测试通道集成电路被专用于借助于至少一个硬件资源(615；616)与所述待测装置(130)的输入针脚或输出针脚进行通信；并且借助于资源控制装置(260)将所述至少一个逻辑控制命令(U-CTRL-n)转换成用于所述至少一个硬件资源的至少一个专用控制命令(D-CTRL-n)，其中所述至少一个专用控制命令(D-CTRL-n)适合于所述至少一个硬件资源(615；616)的物理实施方式。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及借助于自动测试设备(ATE)对集成电路(IC)和半导体装置进行测试。
技术介绍
在典型的半导体制造工艺过程中，对IC进行测试以确保它们的正确操作。ATE执行必要的测试以确保功能和质量，IC为待测装置(DUT)。一般地，在DUT上执行的测试包括一组数字图形矢量(pattern vector)，该数字图形矢量根据预先指定的时序转变成将要施加于DUT的输入信号针脚的激励电压电平。从DUT的输出信号针脚捕获的信号被转变成相应的响应矢量，可以分析该响应矢量以确定DUT是否是根据其规范进行操作的。ATE—般提供多个信号生成资源，这些信号生成资源可以生成具有可配置时序的可配置信号水平。测试器还提供能将DUT生成的信号(例如，模拟形式的)转换成测试器可读的格式(例如，数字形式的)的信号处理资源。信号处理资源也可以是可配置的。ATE可 以被配置为(例如通过一组继电器)将任何测试器资源电连接至任何测试器接口针脚。用于集成电路的典型自动测试器包括一组所谓的测试通道，各测试通道连接至IC或DUT的单独的针脚。这示意性地表示在图Ia中。图Ia示意性地示出了用于测试DUT 130的ATE 100本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：吉尔·戈洛夫，托马斯·亨克，罗纳德·拉森，尤瑞驰·那克，
申请(专利权)人：爱德万测试新加坡私人有限公司，
类型：
国别省市：