本发明专利技术的课题在于提供一种可实现提高玻璃基板的生产量以及提高翘曲品质的玻璃基板的制造方法。本发明专利技术的玻璃基板的制造方法是采用下拉法制造玻璃基板的方法。下拉法是使熔融玻璃自成形体溢流而成形为平板玻璃，并一面于流下方向拉伸平板玻璃，一面加以冷却。玻璃基板的制造方法是于平板玻璃自成形体分离后，当平板玻璃的温度处于自高于软化点的温度至缓冷点附近的温度区域内时，一面向平板玻璃的侧部施加张力，一面将侧部的黏度维持在109.0～1014.5泊的范围内并加以冷却。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种玻璃基板的制造方法。
技术介绍
现有使用利用下拉法制造玻璃基板的方法。下拉法是使熔融玻璃流入成形体之后，使该熔融玻璃自成形体溢流。其后，熔融玻璃沿着成形体流下。熔融玻璃于成形体的下端部合流，然后与成形体分离而成为平板状的玻璃(平板玻璃)。平板玻璃在流下的过程中利用炉内的环境获得冷却。其后，将平板玻璃切割成所需的大小，进而进行加工而制成玻璃基板。
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，在上述玻璃基板的制造方法中，熔融玻璃与成形体分离的同时，平板玻璃会因表面张力而在宽度方向上收缩。其结果是，由于在平板玻璃的宽度方向的边缘部产生隆起(凸缘)，故而必须切下该凸缘。如果平板玻璃的收缩较大，所切下的平板玻璃的边缘部增大，而使供于实用的平板玻璃的宽度减小。因此，存在玻璃基板的制造效率变差的课题。作为解决该课题的手段，专利文献I (日本专利特开平5-124827号公报)中披露有如下构成在成形体与成形体下方的拉伸辊之间且于平板玻璃的宽度方向的边缘部附近与平板玻璃相隔而设置冷却单元，对平板玻璃的边缘部进行冷却。藉此，可抑制自成形体分离的平板玻璃的宽度方向的收缩。但是，专利文献I (日本专利特开平5-124827号公报)中所记载的技术存在无法充分地抑制平板玻璃的宽度方向的收缩的情形。其原因在于仅藉由在成形体的下端的附近且于平板玻璃的宽度方向的边缘部附近与平板玻璃相隔而设置的冷却单元，平板玻璃的冷却能不充分，而存在未充分抑制平板玻璃的宽度方向的收缩的情形。因此，本专利技术的目的在于提供一种玻璃基板的制造方法，能够有效地抑制从成形体分离后的平板玻璃在宽度方向收缩。用于解决课题的手段本专利技术的玻璃基板的制造方法是藉由下拉法制造玻璃基板的方法。下拉法是使熔融玻璃自成形体溢流而成形为平板玻璃，并一面于流下方向拉伸平板玻璃，一面加以冷却。玻璃基板的制造方法是于平板玻璃自成形体分离后，当平板玻璃的温度处于自高于软化点的温度至缓冷点附近的温度区域内时，一面向平板玻璃的侧部施加张力，一面将侧部的黏度维持在109_° IO14 5泊的范围内并加以冷却。该玻璃基板的制造方法中，自成形体分离的平板玻璃的温度处于自高于软化点的温度至缓冷点附近的温度区域内时，由于平板玻璃黏度较低而具有充分的流动性，故而容易收缩。再者，所谓「平板玻璃的温度处于自高于软化点的温度至缓冷点附近的温度区域内」，是指平板玻璃的至少一部分的温度处在该温度区域内。成形体正下方的平板玻璃的黏度较佳为IO5 7 IO7 5泊。具体而言，藉由将自成形体分离的平板玻璃的侧部的黏度维持在109_° IO14 5泊的范围内并加以冷却，而抑制平板玻璃的宽度方向的收缩。由于在平板玻璃的侧部的黏度低于109_°泊时，平板玻璃容易变形，故而容易引起平板玻璃的宽度方向的收缩。当平板玻璃的侧部的黏度超过IO14 5泊时，存在无法完全承受平板玻璃内部所产生的应力，导致平板玻璃破裂的可能性。因 此，较佳为将平板玻璃的侧部的黏度维持在109_° IO14 5泊的范围内并加以冷却。更佳为将平板玻璃的侧部的黏度维持在101° ° IO14 5泊的范围内并加以冷却。并且，由于藉由将自成形体分离的平板玻璃的侧部的黏度维持在109_° IO14 5泊的范围内并加以冷却，而抑制平板玻璃的宽度方向的收缩，故而形成向平板玻璃的两端部沿着平板玻璃的宽度方向施加有张カ的状态。再者，较佳为利用内部通过空气的冷却辊保持平板玻璃。藉此，更有效地抑制平板玻璃的宽度方向的收缩。较佳为以使平板玻璃的侧部的黏度沿着流下方向增高的方式加以冷却。藉此，由于平板玻璃的侧部是阶段性地或连续地冷却，故而可防止一次将平板玻璃过度冷却而导致破裂。较佳为当平板玻璃的温度处于自高于软化点的温度至缓冷点附近的温度区域内时，进行板厚均匀化处理与翘曲減少处理。所谓板厚均匀化处理，是指用以使平板玻璃的板厚于宽度方向上均匀化的步骤。所谓翘曲減少处理，是指在板厚均匀化处理后，用以减少平板玻璃的翘曲的步骤。在板厚均匀化步骤中，较佳为使平板玻璃的中央区域的宽度方向的温度分布均匀化，且使平板玻璃的两侧部的温度低于中央区域的温度。藉此，由于平板玻璃的侧部以抑制宽度方向的收缩的方式获得冷却，且平板玻璃的中央区域以使板厚变均匀的方式获得冷却，故而可于宽度方向上使平板玻璃的板厚均匀化。此处，平板玻璃的中央区域为包含使板厚均匀化的对象的部分的区域，且平板玻璃的端部为包含制造后所切割的对象的部分的区域。再者，板厚均匀化处理较佳为于平板玻璃自成形体分离后立即进行，较佳为进行板厚均匀化处理直至将平板玻璃的温度冷却至软化点为止。藉此，可使板厚更均匀。在翘曲减少步骤中，较佳为将平板玻璃的宽度方向的温度分布设为与板厚均匀化步骤相比成为低温，且于平板玻璃的宽度方向，自平板玻璃的中央区域的宽度方向的中央部向侧部形成温度梯度。并且，藉由以随着平板玻璃的温度接近应变点而平板玻璃的温度梯度减小的方式加以冷却，可以拉伸应カ始终对平板玻璃的宽度方向的中央部发挥作用的方式冷却。藉此，可一面将平板玻璃的板厚維持为均匀，一面加以冷却，并可減少平板玻璃的翘曲。再者，「平板玻璃的温度梯度减小」的「温度梯度」是用自平板玻璃的宽度方向的中央部的温度减去平板玻璃的宽度方向的边缘部的温度所获得的值，除以平板玻璃的宽度值的一半而获得的值的绝对值。成形体正下方的平板玻璃的黏度为IO5 7 IO7 5泊，较佳为将平板玻璃急冷，以使平板玻璃的侧部的黏度成为109_°泊以上。由于自成形体分离后的平板玻璃处于最容易收缩的状态，故而藉由急冷，能够有效地抑制宽度方向的收缩。在在成形体的正下方进行板厚均匀化处理时，藉由进行急冷，以使平板玻璃的侧部的黏度成为109_°泊以上，而于抑制平板玻璃的宽度方向的收缩的状态下使板厚均匀化。藉此，可扩大平板玻璃的板厚均匀化的部分。进而较佳为于将平板玻璃急冷后，使冷却能下降至低于急冷而冷却侧部，藉此将侧部的黏度维持在109_° IO14 5泊的范围内。藉此，由于阶段性地或连续地冷却平板玻璃的侧部，故而可防止一次将平板玻璃过度冷却而使其破裂。板厚均匀化步骤较佳为使平板玻璃的中央区域的宽度方向的温度分布均匀化，且使平板玻璃的两侧部的温度低于中央区域的温度。在翘曲减少步骤中，较佳为将平板玻璃的宽度方向的温度分布设为与板厚均匀化步骤相比成为低温，而自中央区域的中心部向侧部，于平板玻璃的宽度方向上形成温度梯度。本专利技术的玻璃基板的制造装置具备成形体、第I热处理单元及第2热处理单元。成形体具有一对顶部、下端部及一对表面。一对表面是自一对顶部延伸至下端部。成形体使熔融玻璃自一对顶部溢流后，沿着一对表面流下，并于下端部合流而成形为平板玻璃。第I热处理单元是在自成形体分离的平板玻璃的温度处于高于软化点的温度区域内时，进行平 板玻璃的侧部的热处理。第2热处理单元是在平板玻璃的温度处于自软化点附近至缓冷点附近的温度区域内时，进行侧部的热处理。又，第I热处理单元及第2热处理单元一面向侧部施加张力，一面将侧部的黏度维持在109_° IO14 5泊的范围内并加以冷却。藉此，可实现玻璃基板的生产量的提升与翘曲品质的提升。本专利技术的玻璃基板的制造方法是藉由下拉法而制造玻璃基板的方法。下拉法是使熔融玻璃自成形体溢流而成形为平板玻璃，一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：前田伸广，苅谷浩幸，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：
国别省市：
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