一种尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种尾气处理装置，包括：设置有出口和至少两个进气口，用于加热的高温加热筒，进气口的位置均高于出口的位置；进气端与高温加热筒的出口相连的干湿隔离装置，进气端设置有供保护气进入的侧口和供中和液进入的第一喷雾器；与干湿隔离装置的排气端相连，用于收集污水的污水收集箱；与干湿隔离装置的排气端相连，用于过滤烟尘的过滤室，过滤室设有用于排放气体的排气口。将工艺过程中生成的特种气体尾气分解为新气体和固体颗粒，且均为对人体无毒害的物质，生成的气体均为空气的组成成分，因此对经处理后的气体直接排放不会对空气造成污染，即有效降低了对环境的污染。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及尾气处理
，特别涉及ー种尾气处理装置。
技术介绍
随着石油和煤等传统能源的日益匮乏，太阳能、热能和风能等緑色能源被不断开发和利用，随之产生了一系列的新型产业，如光伏、光纤、LED和多晶硅等产业。但是在上述产业生产エ艺过程中，会产生具有危害性的特种气体的尾气。该尾气的主要成分为PH3 (磷烷)、B2H6 (硼烷)、CH4 (甲烷)、NF3 (三氟化氮)等气体，其中大部分气体为易燃或助燃的有毒 气体。目前，该类行业并没有切实可行的对生产过程中产生的特种气体尾气的处理方法，通常采用直接排放的方式。然而，上述特种气体尾气的组成成分中的PHpB2H6和NF3均为有毒气体，对人体的危害较大，同时还存在易燃或助燃的性能，若将其直接排放会对空气造成极大的污染，随着人们环保意识的不断增强，这种做法显然是不可取的。因此，如何对特种气体进行分解，以避免直接排放对空气造成的污染，是本领域技术人员目前需要解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供ー种尾气处理装置，对特种气体进行分解，以避免直接排放对空气造成的污染。为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案ー种尾气处理装置，包括设置有出ロ和至本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种尾气处理装置，其特征在于，包括：设置有出口和至少两个进气口（2），用于加热的高温加热筒（5），所述进气口（2）的位置均高于所述出口的位置；进气端与所述高温加热筒（5）的出口相连的干湿隔离装置（9），所述进气端设置有供保护气进入的侧口（7）和供中和液进入的第一喷雾器（8）；与所述干湿隔离装置（9）的排气端相连，用于收集污水的污水收集箱（11）；与所述干湿隔离装置（9）的排气端相连，用于过滤烟尘的过滤室（15），所述过滤室（15）设有用于排放气体的排气口。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吴海华，徐力，连海洲，
申请(专利权)人：上海至纯洁净系统科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：