【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种压电步进器，特别涉及一种高刚性自配合双压电体并排推动的三摩擦力步进器，属于压电定位器
技术介绍
压电步进器是一种能够把每一步产生的微观小压电位移累加成一个宏观大位移的压电定位器，可同时拥有纳米级定位精度、厘米级大行程，从而成为现今精密测量、纳米器件加工、原子/分子操纵、乃至亚原子结构成像的有力定位工具。其现今的发展趋势是高刚性、大推力、和小型化。我们以前提出了一种“双压电体并排推动的三摩擦力步进器”(专利技术专利授权号ZL200910116492.X)是朝着这方面推进的一个典型代表。其技术特征为包括两个压电体、基座、滑杆，其特征是所述两压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于基座上，设置与两压电体在其伸缩方向上为滑动配合的滑杆，在垂直于两压电体伸缩方向上设置将滑杆与两压电体自由端相压的正压力以及将滑杆与基座相压的正压力，在这三个正压力对滑杆产生的最大静摩擦力中，任一个最大静摩擦力小于其它两个最大静摩擦力之和(摩擦力关系)。一种比较容易想到的具体实施例是上述的三个正压力均来自滑杆的弹性，例如把空心的滑杆沿轴向从两头向另一头平行地割去，但...
【技术保护点】
一种高刚性自配合双压电体并排推动的三摩擦力步进器，包括两个压电体、基座、滑杆，所述两压电体按伸缩方向平行设置并排地固定站立于基座上，构成双压电体结构，其特征在于，还包括弹簧片和两个垫片，所述两个垫片分别固定于所述两压电体的自由端，设置与两压电体在其伸缩方向上为滑动配合的滑杆，所述弹簧片设置于基座和滑杆之间，弹簧片和滑杆之间的弹性相压为点接触或线接触，该弹簧片在垂直于两压电体伸缩方向上将滑杆的一端与基座相压，并将滑杆的另一端与两个垫片分别相压，分别构成基座正压力和两个垫片正压力，在所述双压电体结构的伸缩方向上，所述弹簧片产生的侧向弹力的位置处于基座正压力位置和垫片正压力位置之...
【技术特征摘要】
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