柔性显示器的制造方法技术

本发明专利技术提供了一种可以使制造处理简化并且降低制造费用的柔性显示器的制造方法。根据本发明专利技术的一个示例性实施方式的一种制造柔性显示器的方法可以包括以下步骤：在承载基板上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成柔性基板；在所述柔性基板上形成TFT阵列；对所述牺牲层进行蚀刻，以使所述柔性基板与所述承载基板分离；将所述柔性基板附接到粘着辊；以及将已附接到所述粘着辊的所述柔性基板附接到背基板。

【技术实现步骤摘要】

该文件涉及，更具体地说，涉及承载基板能够被重复利用的。
技术介绍
本申请要求2011年6月28日提交的韩国专利申请No. 10-2011-0062820的优先权，此处通过引入的方式将其并入。现今，随着多媒体的发展，显示装置获得了更大的重要性。同时，各种平板显示器(如，IXD (液晶显示器)、TOP (等离子显示面板)、FED (场发射显示器)、OLED (有机发光二极管显示装置)、EPD (电泳显示器)等)正在投入实际使用。 目前，已经开发了这样一种柔性显示器，其由柔性材料(如塑料等)而不是普通的非柔性玻璃基板制成，使得即使当如纸一样弯曲时，也可以保持显示性能。但是，柔性显示器的基板很容易弯曲，以至于在制造过程中基板应当被支撑在如承载基板的硬基板上。图I是示出了常规的顺序步骤的流程图。参照图1，为了制造常规柔性显示器，在承载基板上形成牺牲层，接着在牺牲层上形成柔性基板(SlO)。在柔性基板上形成TFT阵列(S20)，将显示装置附接到TFT阵列，接着将柔性基板划线成多个盒单元(cell unit) (S30) 0然后，对由柔性基板和显示装置组成的盒单元柔性显示器进行密封(S40)，接着将承载基板与柔性基板分离(S50)。由此，完成柔性显示器的制造。但是，在常规柔性显示器中，由于在承载基板和柔性基板彼此附接的状态下，执行划线处理，所以承载基板一旦使用过，就应当丢弃。因此，由于承载基板是不可重复利用的，所以存在的问题在于成本增加。
技术实现思路
该文件的一个方面是提供一种可以简化制造过程并且降低制造费用的。根据本专利技术的一个示例性实施方式的可以包括以下步骤在承载基板上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成柔性基板；在所述柔性基板上形成TFT阵列；对所述牺牲层进行蚀刻，以将所述承载基板与所述柔性基板分离；将所述柔性基板附接到粘着辊；以及将已经附接到所述粘着辊的所述柔性基板附接到背基板。根据本专利技术的另一个示例性实施方式的可以包括以下步骤在承载基板上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成缓冲层；在所述缓冲层上形成TFT阵列；对所述牺牲层进行蚀刻，以使所述承载基板与上面形成有所述TFT阵列的所述缓冲层分离；将上面形成有所述TFT阵列的所述缓冲层附接到粘着辊；以及将上面形成有所述TFT阵列并且已经附接到所述粘着辊的所述缓冲层附接到背基板。附图说明附图被包括进来以提供对本专利技术的进一步理解，其被并入且构成本说明书的一部分，附图示出了本专利技术的实施方式，并与说明书一起用于解释本专利技术的原理。图I是示出了常规的顺序步骤的流程图； 图2是示出了根据本专利技术的第一实施方式的的顺序步骤的流程图；图3a至图3f是示出了根据本专利技术的第一实施方式的的顺序步骤的图；图4是示出了 TFT阵列和电泳膜的图；图5是示出了根据本专利技术的第二实施方式的的顺序步骤的流程图；以及图6a至图6f是示出了根据本专利技术的第二实施方式的的顺序步骤的图。具体实施例方式现在将详细描述本专利技术的实施方式，其示例在附图中例示。图2是示出了根据本专利技术的第一实施方式的的顺序步骤的流程图。参照图2，根据本专利技术的第一实施方式的包括在承载基板上形成牺牲层的处理(S100)，形成柔性基板的处理(SllO)，形成TFT阵列的处理(S120)，分离柔性基板的处理(S130)，将柔性基板附接到粘着辊的处理(S140)，将柔性基板附接到背基板的处理(S150)，划线和密封处理(S160)，以及附接C0G/FPC的处理(S170)。更具体地，在承载基板上形成牺牲层的处理(S100)是在硬并且耐高温的承载基板(如，玻璃)上形成牺牲层的处理。形成柔性基板的处理(SllO)是通过在牺牲层的整个表面上涂布聚酰亚胺来形成柔性基板的处理，而形成TFT阵列的处理(S120)是在柔性基板上形成TFT阵列的处理。形成显示装置的处理(S125)是在TFT阵列上形成显示装置的处理，该处理可以在形成TFT阵列的处理之后或在划线和密封处理之前执行。并且，分离柔性基板的处理(S130)是将承载基板与柔性基板分离的处理，而将柔性基板附接到粘着辊的处理(S140)是将分离后的柔性基板绕着粘着辊卷绕，以附接到该粘着辊的处理。将柔性基板附接到背基板的处理(S150)是通过滚动粘着辊将已经附接到粘着辊的柔性基板附接到背基板的处理，而划线和密封处理(S160)是将柔性基板切割成盒单元并且密封该盒单元的处理。最后，附接C0G/FPC的处理(S170)的处理是附接COG/FPC以由此完成柔性显示器的制造的处理。图3a至图3f是示出了根据本专利技术的第一实施方式的的顺序步骤的图，而图4是示出了 TFT阵列和电泳膜的图。参照图3a，在由玻璃制成的承载基板210上形成无机绝缘膜215。由氮化硅制成的无机绝缘膜215起到提高与后续步骤中形成的牺牲层的粘着性。并且，在无机绝缘膜215上沉积非晶硅，以形成牺牲层220。然后，在牺牲层220的整个表面上旋转涂布作为聚合物材料的聚酰亚胺。接着，对所涂布的聚酰亚胺进行硬化，以形成柔性基板230。其后，在柔性基板230上形成缓冲层235。缓冲层235起到提高与由聚合物材料制成的柔性基板230的接合性的作用，并且还起到防止当聚合物材料暴露于高温时可能出现的有机气体或有机微粒的排放。然后，参照图3b，在缓冲层235上形成TFT阵列300。将参照示出了 TFT阵列300的图4更详细地进行描述。在缓冲层235上层叠金属，以形成栅极315，并且在栅极315上层叠硅的氧化物或硅的氮化物，以形成栅绝缘膜320，用于隔离栅极315。接着，在栅绝缘膜320上提供非晶硅或含有已结晶非晶硅的多晶硅，并且对其进行构图，以由此形成与栅极315相对应的半导体层325。并且，欧姆接触层330形成在半导体层325的任意一侧上，并且低电阻金属堆叠在欧姆接触层330上并且对该低电阻金属层进行构图，以由此形成连接至欧姆接触层330的源极335a和漏极335b。由此，完成TFT的制造。此后，设置保护TFT的平坦化膜340，并且设置第一电极345，该第一电极345经由 平坦化膜340的接触孔连接至漏极335b，由此获得TFT阵列300。接着，参照图3c的(a)，将承载基板210与上面形成有TFT阵列300的柔性基板230分离。这里，当激光照射到承载基板210和柔性基板230之间的牺牲层220时，牺牲层220生成氢气，这使柔性基板230与承载基板210分离。当将承载基板210与柔性基板230分离时，使粘着辊400与柔性基板230接触，并且在其上滚动。结果，如图3c中(b)所示，柔性基板230绕着粘着辊400卷绕，以附接到粘着辊400。这里，粘着辊400具有涂布在上面的粘合剂410，如聚二甲基硅氧烷，使得柔性基板230可以附接到粘着辊400。接着，参照图3c的(C)和(d)，涂布有粘合剂的背基板430放置在粘着辊400下方，并且使粘着辊400与背基板430接触，并且在其上滚动，使得柔性基板230附接到背基板430。因此，柔性基板230与承载基板210分离，并且附接到背基板430，而承载基板210将在制造柔性基板的处理中被再次使用。接着，参照图3d，在TFT阵列300上形成显示装置350。本专利技术的示例性显示装置350可以包括OLED (有机发光二极管显示装置)、IXD 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造柔性显示器的方法，该方法包括以下步骤：在承载基板上形成牺牲层；在所述牺牲层上形成柔性基板；在所述柔性基板上形成TFT阵列；对所述牺牲层进行蚀刻，使所述柔性基板与所述承载基板分离；将所述柔性基板附接到粘着辊；以及将已附接到所述粘着辊的所述柔性基板附接到背基板。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宋泰俊，柳洵城，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：