具有调整施加到开关阵列的选通信号的时间分布的电路的开关阵列制造技术

本发明专利技术名称为“具有调整施加到开关阵列的选通信号的时间分布的电路的开关阵列”。微机电系统(MEMS)开关阵列(1000)包括电路(1008)，电路(1008)可以耦合到阵列的选通电极线路(1006)以调整施加到组成该开关阵列的多个MEMS开关的选通信号的时间分布。可以对时间分布整形以减少可能在电流的开关期间在开关中发展的电压电涌。这种电压电涌减少有助于提高阵列的耐用性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般涉及电组件的领域。更确切地说，本专利技术涉及如电开关和电开关阵列的电组件的可靠性的领域。
技术介绍
微机电系统(MEMS)代表机械兀件与电兀件通过微制造技术在衬底上的集成。电元件通常使用集成电路制造工艺来制造，而机械组件通常使用兼容的微加工工艺(例如，平板印刷、金属化或蚀刻工艺)来制造。能够采用此类工艺是MEMS制造技术的关键优势，因为考虑到对MEMS装置典型的特征化“微尺度”尺寸的增强型控制。此类工艺还通过使得能够在共用衬底管芯上批量制造MEMS装置来实现MEMS装置的高效生产。MEMS技术适于制造需要有限范围的运动来实现它们的操作的组件，如促动器或开关。开关阵列也可以基于MEMS技术来实现。一种类型的MEMS包括悬浮式连接构件，其中连接构件可以采用可移动梁的形式，如悬臂。此类装置还可以包括促动机构，其中促动机构可以是静电的以促使悬浮式连接构件移动。该移动通过促使悬浮式连接构件的表面与MEMS的相邻部分的表面之间的电触点的“形成(make)”和“拆开(break) ”来实现MEMS的两个或两个以上部分之间的电通信。当MEMS开关阵列从赋能状态“开路”时，可能跨过ME本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电系统(MEMS)开关阵列(1000)，包括：多个MEMS开关，其耦合成响应通过选通电极线路(1006)施加的选通信号来开关电流；以及电路(1008)，其耦合到所述选通电极线路(1006)以调整施加到所述多个MEMS开关的所述选通信号的时间分布，其中对所述时间分布整形以减少可能在电流的所述开关期间在所述多个MEMS开关的至少其中一些中发展的电压电涌。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：M·F·艾米，
申请(专利权)人：通用电气公司，
类型：发明
国别省市：