RF MEMS 开关及其制造方法技术

一种RF?MEMS开关，包括主体、固定端子及可动端子。主体的一侧开设有插孔。可动端子，与所述固定端子一起微组装于所述主体内，所述可动端子位于所述插孔下方，且与所述固定端子相互搭接连接在一起，形成开关的接通状态。上述RF?MEMS开关的可动端子及固定端子微组装一起构成一个开关结构，可动端子必须在外力的作用下才能与固定端子分离，其不受外部环境的温湿度的影响和电磁场的干扰，因此，上述RF?MEMS开关抗干扰性较强。并且，上述RF?MEMS开关无需额外增加提供驱动的电极或其它相同作用的部件，结构较简单，同时也不会因开关力不足造成触点粘结等通病而破坏开关的双稳态结构。本发明专利技术还提供一种上述RF?MEMS开关的制造方法。

【技术实现步骤摘要】
RF MEMS开关及其制造方法
本专利技术涉及一种微机电系统(Micro Electro Mechanical System, MEMS)
，特别是涉及ー种射频(RF, Radio-Frequency)微机电系统开关及其制造方法。背景技木带开关同轴连接器是无线通信等电子电路系统的重要元件之一，它通常要求具有稳定的开关接通和断开两个状态(即双稳态结构)，以用于通信模块或设备中的电路板传输路径上的信号通路切換，在移动终端、无线通信、雷达探测等方面应用十分广泛。但是随着小型化、低高度、高品质要求的发展需要，尤其低到小于毫米级，甚至到微米级得超小外形和宽频范围的要求，已大大超过了传统的常规机械制造技术所能承受解决的技术范围，从而成为业内大的ー个技术难题。利用MEMS技术エ艺可以实现这种超小外形，并能达到宽频带范围的要求，这种 MEMSエ艺实现的开关结构具有一致性高、便于集成、射频指标好等优点，通常的RF MEMS开关或开关模组本质上是使用包括静电驱动、电磁驱动、热电驱动、压电驱动和形状记忆合金驱动等驱动形式来实现RF传输线中的短路或断路的小型化器件，具有插入损耗低、电功率耗散小、隔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种RF？MEMS开关，其特征在于，所述RF？MEMS开关包括：主体，其一侧开设有插孔；固定端子；及可动端子，与所述固定端子一起微组装于所述主体内，所述可动端子位于所述插孔下方，且与所述固定端子相互搭接连接在一起，形成开关的接通状态。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：黄金亮，
申请(专利权)人：深圳市电连精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：