触控面板的制造方法技术

本发明专利技术涉及一种触控面板的制造方法，首先，于一基板的表面上依序形成一第一导电层、一第二导电层以及一第一光阻层。接着，使用一灰阶光罩图案化第一光阻层，并利用图案化的第一光阻层蚀刻第一以及第二导电层以形成触控面板的第一感测电极。接着，于基板以及第一感测电极上形成一绝缘层，并使用一灰阶光罩图案化绝缘层。然后，于图案化的绝缘层上形成一第三导电层，接着形成一第二光阻层于第三导电层上，并图案化第二光阻层以暴露出部分的第三导电层。最后，利用图案化的第二光阻层蚀刻第三导电层以形成触控面板之第二感测电极。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术关于触控面板，且特别是有关于触控面板的制作方法。
技术介绍
近来，各式电子设备使用触控面板以允许使用者藉由使用ー输入装置，如手指或触控笔(stylus)，碰触显示在ー显示装置上的一影像而输入数据。此类触控面板主要分类为电阻式触控面板(resistive touch panel)和电容式触控面板(capacitive touchpanel)。根据电阻式触控面板，当从ー输入装置施加压カ至ー电极，该电极发生短路，因此侦测到一位置。根据电容式触控面板，当手指碰触触控面板时改变了电极间的电容，根据该电容的变化而侦测到一位置。如果长时间重复使用电阻式触控面板，电阻式触控面板的效能则会退化，且可产生刮痕。为此，电容式触控面板因其优良耐用性和长寿命而受到注目。 以下，參考图I和图2。图I为说明传统电容式触控屏幕面板的俯视平面图，以及图2为说明沿着图1A-A’线的触控屏幕面板的剖面图。触控屏幕面板100的电极102形成在基板101上，电极102包括在第一方向(如X轴方向)平行排列的复数个第一电极102a，以及在垂直于第一电极102a的相交方向(如Y轴方向)排列的复数个第二电极102b。第ー本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种触控面板的制造方法，其特征在于：包括下列步骤：于一基板的表面上依序形成一第一导电层、一第二导电层以及一第一光阻层；使用一第一灰阶光罩图案化该第一光阻层；利用该图案化第一光阻层蚀刻该第一导电层以及该第二导电层以定义出该触控面板的一第一感测电极；形成一第一绝缘层于该基板以及该第一感测电极上；使用一第二灰阶光罩图案化该第一绝缘层以形成具不同厚度的图案化第一绝缘层，其中覆盖在该第一感测电极之上的该图案化第一绝缘层具有最大的厚度；形成一第三导电层于该图案化第一绝缘层上；形成一第二光阻层于该第三导电层上；图案化该第二光阻层以暴露出部分之该第三导电层；以及利用该图案化第二光阻层蚀刻该第三导电层以定义出该...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：游家维，邱启明，吕雅茹，
申请(专利权)人：福建华映显示科技有限公司，中华映管股份有限公司，
类型：发明
国别省市：