本发明专利技术提供的激光光线照射装置具有：激光光线振荡单元，其振荡出激光光线；聚光透镜，其会聚该激光光线振荡单元振荡出的激光光线；衍射光学元件，其配设于该激光光线振荡单元与该聚光透镜之间，规定该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及0次光排除单元，其从由该衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的0次光之中排除0次光而仅将规定了点形状的一次光导入到该聚光透镜，该0次光排除单元具有：第1棱镜，其具有入射面、和出射面；第2棱镜，其具有0次光反射面和一次光出光面；以及衰减器，其对在该第2棱镜的该0次光反射面反射的0次光进行吸收。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及向半导体晶片或光器件晶片等被加工物照射激光光线的激光光线照射装置。
技术介绍
在半导体器件制造步骤中，在大致圆板形状的硅基板表面由呈格子状排列的被称作间隔道的分割预定线划分出多个区域，在该划分出的区域形成LC、LSI等器件。而且对沿着间隔道切断半导体晶片而形成器件的区域进行分割，制造出各个半导体芯片。另外，对于在蓝宝石基板表面层叠光电二极管等受光元件和激光二极管等发光元件等而成的光器件晶片也沿着间隔道进行切断，从而将其分割为各个光电二极管、激光二极管等光器件，广泛应用于电气设备。·作为上述沿着间隔道分割半导体晶片和光器件晶片的方法，提出了如下方法沿着间隔道照射相对于晶片具有吸收性的波长的脉冲激光光线以形成激光加工槽，沿着该激光加工槽进行断开。另外，为了提高加工精度，还提出了将激光光线的点形状形成为椭圆形的激光加工装置。该激光加工装置为了使激光光线的点形状形成为椭圆形而具备由柱面透镜构成的点整形单元(例如参见专利文献I)。并且，作为使激光光线的点形状形成为规定形状的结构较为简单的方法，公知有使用衍射光学元件(DOE :Diffractive Optic Element)的技术。专利文献I日本特开2006-289388号公报然而，在使用衍射光学元件使激光光线的点形状形成为规定形状的方法中，利用衍射光学元件生成一次光并使激光光线的点形状形成为规定形状时，未被生成为一次光的O次光也与一次光一起照射到被加工物，存在降低加工性能的问题。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述事实情况而完成的，其主要技术课题在于，提供一种既能通过衍射光学兀件生成一次光，使激光光线的点形状形成为规定形状，又能排除未生成为一次光的O次光的激光光线照射装置。为了解决上述主要技术课题，本专利技术提供一种激光光线照射装置，其具有激光光线振荡单元，其振荡出激光光线；聚光透镜，其对由该激光光线振荡单元振荡出的激光光线进行会聚；衍射光学元件，其配设于该激光光线振荡单元与该聚光透镜之间，规定该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及O次光排除单元，其从由该衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的O次光中排除O次光而仅将规定了点形状的一次光导入到该聚光透镜，该O次光排除单元具有第I棱镜，其具有入射面和出射面，该入射面是一次光和O次光入射的面，该出射面是相对于该入射面倾斜且一次光和相对于一次光具有角度的O次光出射的面；第2棱镜，其具有O次光反射面和一次光出光面，该O次光反射面是允许从该第I棱镜的该出射面出射的一次光的入射并反射O次光的面，该一次光出光面是出射一次光的面；以及衰减器，其对在该第2棱镜的该O次光反射面反射的O次光进行吸收。优选上述第I棱镜的入射面被设定为使得通过衍射光学元件的一次光垂直地入射，第I棱镜的出射面和第2棱镜的O次光反射面被平行地设定，第I棱镜的入射面与第2棱镜的出射面被平行地设定，由衍射光学元件规定的点形状以相似形状导入到聚光透镜。优选对上述第2棱镜的O次光反射面实施了角度分离涂布。本专利技术的激光光线照射装置具有衍射光学元件，其配设于激光光线振荡单元与聚光透镜之间，规定激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及O次光排除单元，其从由衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的O次光中排除O次光而仅将规定了点形状的一次光导入到聚光透镜，O次光排除单元具有第I棱镜，其具有入射面和出射面，该入射面是一次光和O次光入射的面，该出射面是相对于该入射面倾斜且一次 光和相对于一次光具有角度的O次光出射的面；第2棱镜，其具有O次光反射面和一次光出光面，该O次光反射面是允许从该第I棱镜的该出射面出射的一次光的入射并反射O次光的面，该一次光出光面是出射一次光的面；以及衰减器，其对在第2棱镜的O次光反射面反射的O次光进行吸收，因此能够由O次光排除单元排除未生成为由衍射光学元件规定为点形状的一次光的O次光，因而能防止照射O次光导致的加工性能的降低。附图说明图I是装配了根据本专利技术构成的激光光线照射装置的激光加工机的立体图。图2是根据本专利技术构成的激光光线照射装置的概要构成图。图3是作为被加工物的光器件晶片的立体图。图4是表示将图3所示的光器件晶片贴附于装配在环状框架的粘接带表面的状态的立体图。图5是使用图I所示的激光加工装置在图3所示的光器件晶片形成激光加工槽的激光加工槽形成步骤的说明图。符号说明2静止基座；3卡盘台机构；36卡盘台；37加工进给单元；38第I分度进给单元；4激光光线照射单元支撑机构；42可动支撑基座；43第2分度进给单元；5激光光线照射单元；53聚光点位置调整单元；6激光光线照射装置；62脉冲激光光线振荡单元；63聚光器；631转向镜；632聚光透镜；633衍射光学兀件；6340次光排除单兀；635第I棱镜；636第2棱镜；637衰减器；7摄像单元；10光器件晶片；F环状框架；T粘接带具体实施例方式下面参照附图详细说明根据本专利技术构成的激光光线照射装置的优选实施方式。图I表示装配了根据本专利技术构成的激光光线照射装置的激光加工机的立体图。图I所示的激光加工机具有静止基座2、对以能够在箭头X所示的加工进给方向(X轴方向)移动的方式配设于该静止基座2的被加工物进行保持的卡盘台机构3、以能够在与加工进给方向(X轴方向)正交的箭头Y所示的分度进给方向(Y轴方向)移动的方式配设于静止基座2的激光光线照射单元支撑机构4、以能够在垂直于后述的卡盘台的保持面的箭头Z所示的聚光点位置调整方向(Z轴方向)移动的方式配设于该激光光线照射单元支撑机构4的激光光线照射单元5。上述卡盘台机构3具有沿着箭头X所示的加工进给方向(X轴方向)平行配设于静止基座2上的一对导轨31、31、以能够在X轴方向上移动的方式配设于该导轨31、31上的第I滑动块32、以能够在箭头Y所示的分度进给方向(Y轴方向)移动的方式配设于该第I滑动块32上的第2滑动块33、被圆筒部件34支撑于该第2滑动块33上的罩台35、作为被加工物保持单元的卡盘台36。该卡盘台36具有由多孔性材料形成的吸附盘361，凭借未图示的吸引单元将作为被加工物的例如圆板状的半导体晶片保持于作为被加工物保持面的吸附盘361上。如上构成的卡盘台36凭借配设于圆筒部件34内的未图示的脉冲电动机而进行旋转。在卡盘台36还配设有用于固定后述的环状的框架的夹具362。上述第I滑动块32在其下表面设有与上述一对导轨31、31嵌合的一对被引导槽321、321，并且在其上表面设有沿着Y轴方向平行形成的一对导轨322、322。如上构成的第 I滑动块32构成为通过被引导槽321、321与一对导轨31、31嵌合，能够沿着一对导轨31、31在X轴方向移动。图示的实施方式中的卡盘台机构3具有用于使第I滑动块32沿着一对导轨31、31在X轴方向移动的由滚珠丝杠机构构成的加工进给单元37。加工进给单元37具有平行配设于上述一对导轨31与31之间的外螺纹杆371、用于旋转驱动该外螺纹杆371的脉冲电动机372等驱动源。外螺纹杆371的一端以旋转自如的方式支撑于固定在上述静止基座2的轴承块373，其另一端与上述脉冲电动机372的输出轴传动连接。并且，夕卜螺纹杆371与在突出设置于第I滑动块32的中央部下表面的未图示的内螺纹块上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种激光光线照射装置，其具有：激光光线振荡单元，其振荡出激光光线；聚光透镜，其对由该激光光线振荡单元振荡出的激光光线进行会聚；衍射光学元件，其配设于该激光光线振荡单元与该聚光透镜之间，规定该激光光线振荡单元振荡出的激光光线的点形状；以及0次光排除单元，其从由该衍射光学元件规定了点形状的一次光和未生成为一次光的0次光中排除0次光而仅将规定了点形状的一次光导入到该聚光透镜，该0次光排除单元具有：第1棱镜，其具有入射面和出射面，该入射面是一次光和0次光入射的面，该出射面是相对于该入射面倾斜且一次光和相对于一次光具有角度的0次光出射的面；第2棱镜，其具有0次光反射面和一次光出光面，该0次光反射面是允许从该第1棱镜的该出射面出射的一次光的入射并反射0次光的面，该一次光出光面是出射一次光的面；以及衰减器，其对在该第2棱镜的该0次光反射面反射的0次光进行吸收。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：能丸圭司，
申请(专利权)人：株式会社迪思科，
类型：发明
国别省市：
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