一种低振动高精度静压气体轴承制造技术

一种低振动高精度静压气体轴承，由轴承体(1)、导向连接件(2)和气体导向件(3)组成，其特征在于：所述的轴承体(1)内部设置有气体导向件(3)，轴承体(1)与气体导向件(3)通过导向连接件(2)相连接，导向连接件(2)的外表面和轴承体(1)的内表面形成高压气腔(7)，气体导向件(3)的外表面与轴承体(1)的内表面形成节流孔(6)，节流孔(6)一端与高压腔(7)相连通，另一端与轴承体(1)下部的气腔(5)相连通，节流孔(6)与轴承体(1)的下表面处于非垂直状态，轴承体(1)上设置有进气通道(8)，进气通道(8)与高压腔(7)相连通。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种低振动高精度静压气体轴承，尤其是降低气体轴承的振动幅度、提高气浮支撑运动定位平台精度的静压气浮支撑
技术背景 静压气体轴承因具有精度高、无摩擦、无磨损、无需保养、环境适应能力强、低速时不出现爬行和滞后等卓越性能而广泛应用于微电子制造及其测量装备。随着微电子制造及其測量装备精度要求的不断提高，对气体轴承支撑的运动定位平台的性能提出更加苛刻的要求。受节流形式、气膜厚度、预载方式、几何形状、加工精度、供气压カ及エ况等诸多因素的影响，气体轴承内气体在极短时间内流动状态发生多次变化，气膜间隙内的气压波动使气体轴承产生振幅从几纳米到几十纳米，频率从几十赫兹到几千赫兹的宽频微幅自激振动，这种自激振动对平台的运动定位精度产生极为不利的影响，制约气体轴承在微电子制造及其測量装备中进一歩推广应用。而现有技术中的气体轴承的节流孔与支撑面相垂直，即节流孔内的气流方向与气膜内的气流方向垂直，迫使高压气体在节流孔出ロ处流动方向突然发生90度转变，从而导致节流孔出ロ附近气体流动状态极不稳定，湍流強度很大，引起轴承产生自激振动。如果改变节流孔内气流方向与气膜内气流方向的夹角，使节流出本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低振动高精度静压气体轴承，由轴承体(1)、导向连接件(2)和气体导向件(3)组成，其特征在于：所述的轴承体(1)内部设置有气体导向件(3)，轴承体(1)与气体导向件(3)通过导向连接件(2)相连接，导向连接件(2)的外表面和轴承体(1)的内表面形成高压腔(7)，气体导向件(3)的外表面与轴承体(1)的内表面形成节流孔(6)，节流孔(6)一端与高压腔(7)相连通，另一端与轴承体(1)下部的气腔(5)相连通，节流孔(6)与轴承体(1)的下表面处于非垂直状态，轴承体(1)上设置有进气通道(8)，进气通道(8)与高压腔(7)相连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李运堂，蔺应晓，朱红霞，袁柯铭，
申请(专利权)人：中国计量学院，
类型：实用新型
国别省市：