太赫兹波产生装置、相机、成像装置和测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及太赫兹波产生装置、相机、成像装置和测量装置。该太赫兹波产生装置的特征在于，具备：产生脉冲光的第1光源和第2光源；和天线，其被由上述第1光源和上述第2光源产生的脉冲光照射从而产生太赫兹波，上述天线具有隔着间隔而对置配置的一对电极，上述第1光源和上述第2光源被构成为，相互错开时刻来对上述一对电极间照射脉冲光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太赫兹波产生装置、相机、成像装置和测量装置。
技术介绍
近年来，具有IOOGHz以上、30THz以下的频率的电磁波即太赫兹波受到关注。太赫兹波例如能够用于成像、分光测量等的各测量、无损检测等。产生该太赫兹波的太赫兹波产生装置具备产生具有近P秒(数百f秒)左右的脉冲宽度的光脉冲(脉冲光)的光源装置、和通过被照射由光源装置产生的光脉冲而产生太赫兹波的天线(例如参照专利文献I)。另外，在现有的太赫兹波产生装置中，从一个光源装置向天线的一对电极的电极间照射光脉冲。 但是，在上述现有的太赫兹波产生装置中，具有如下的缺点，即只能产生具有一定的频率分布的太赫兹波。专利文献I :日本特开2006 - 10319号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够调整太赫兹波的频率分布的太赫兹波产生装置、相机、成像装置以及测量装置。上述的目的通过下述的本专利技术来实现。本专利技术的太赫兹波产生装置的特征在于，具备产生脉冲光的第I光源和第2光源；和天线，其被由上述第I光源和上述第2光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波，上述天线具有隔着间隔而对置配置的一对电极，上述第I光源和上述第2光源被构成为，相互错开时刻来对上述一对电极间照射脉冲光。由此，能够容易且可靠地调整太赫兹波的频率分布。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选上述脉冲光的照射时刻的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度。由此，能够容易且可靠地调整太赫兹波的频率分布。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选上述第I光源和上述第2光源分别是半导体激光器。由此，能够提供小型且简易的太赫兹波产生装置。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选上述第I光源和上述第2光源被一体化。由此，能够实现太赫兹波产生装置的小型化。本专利技术的太赫兹波产生装置的特征在于，具备产生脉冲光的第I光源、第2光源、第3光源和第4光源；和天线，其被由上述第I光源、上述第2光源、上述第3光源和上述第4光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波，上述天线具有隔着间隔而对置配置的第I 一对电极和第2 —对电极，上述第I光源和上述第2光源被构成为，相互错开时刻来对上述第I一对电极间照射脉冲光，上述第3光源和上述第4光源被构成为，相互错开时刻来对上述第2 —对电极间照射脉冲光,从上述第I光源发出的脉冲光和从上述第2光源发出的脉冲光中的至少一个、与从上述第3光源发出的脉冲光和从上述第4光源发出的脉冲光中的至少一个的相位不同。由此，能够容易且可靠地调整太赫兹波的频率分布，还能够变更太赫兹波的射出方向。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选为，对上述第I 一对电极间照射的脉冲光的照射时刻的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度，对上述第2 —对电极间照射的脉冲光的照射时刻的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度。由此，能够容易且可靠地调整太赫兹波的频率分布。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选为，从上述第I光源发出的脉冲光以及从上述第2光源发出的脉冲光、和从上述第3光源发出的脉冲光以及从上述第4光源发出的 脉冲光的相位互不相同的脉冲光彼此的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度。由此，能够容易且可靠地变更太赫兹波的射出方向。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选为上述第I光源、上述第2光源、上述第3光源和上述第4光源分别是半导体激光器。由此，能够提供小型且简易的太赫兹波产生装置。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选为上述第I光源、上述第2光源、上述第3光源和上述第4光源被一体化。由此，能够实现太赫兹波产生装置的小型化。在本专利技术的太赫兹波产生装置中，优选为上述第I 一对电极中的一个与上述第2一对电极中的一个电连接。由此，能够提供简易的太赫兹波产生装置。本专利技术的相机的特征在于，具备产生太赫兹波的太赫兹波产生装置；和太赫兹波检测装置，其对从上述太赫兹波产生装置射出、并透过对象物或被对象物反射的太赫兹波进行检测，上述太赫兹波产生装置具备产生脉冲光的第I光源以及第2光源；和天线，其被由上述第I光源和上述第2光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波，上述天线具有隔着间隔而对置配置的一对电极，上述第I光源和上述第2电源被构成为，相互错开时刻来对上述一对电极间照射脉冲光。由此，能够提供具有上述本专利技术的效果的相机。本专利技术的成像装置的特征在于，具备产生太赫兹波的太赫兹波产生装置；太赫兹波检测装置，其对从上述太赫兹波产生装置射出、并透过对象物或被对象物反射的太赫兹波进行检测；和图像形成部，其根据上述太赫兹波检测装置的检测结果来生成上述对象物的图像，上述太赫兹波产生装置具备产生脉冲光的第I光源以及第2光源；和天线，其被由上述第I光源和上述第2光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波，上述天线具有隔着间隔而对置配置的一对电极，上述第I光源和上述第2光源被构成为，相互错开时刻来对上述一对电极间照射脉冲光。由此，能够提供具有上述本专利技术的效果的成像装置。本专利技术的测量装置的特征在于，具备产生太赫兹波的太赫兹波产生装置；太赫兹波检测装置，其对从上述太赫兹波产生装置射出、并透过对象物或被对象物反射的太赫兹波进行检测；和测量部，其根据上述太赫兹波检测装置的检测结果来对上述对象物进行测量，上述太赫兹波产生装置具备产生脉冲光的第I光源以及第2光源；和天线，其被由上述第I光源和上述第2光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波，上述天线具有隔着间隔而对置配置的一对电极，上述第I光源和上述第2光源被构成为，相互错开时刻来对上述一对电极间照射脉冲光。由此，能够提供具有上述本专利技术的效果的测量装置。附图说明图I是示意性地表示本专利技术的太赫兹波产生装置的第I实施方式的立体图。图2是图I所示的太赫兹波产生装置的光源装置的截面立体图。图3是图2中的A — A线的截面图。 图4是图2中的B — B线的截面图。图5是示意性表示本专利技术的太赫兹波产生装置的第2实施方式的立体图。图6是图5所示的太赫兹波产生装置的光源装置的截面立体图。图7是示意性地表示本专利技术的太赫兹波产生装置的第3实施方式的立体图。图8是示意性地表示本专利技术的太赫兹波产生装置的第4实施方式中的光源单元的俯视图。图9是示意性地表示本专利技术的太赫兹波产生装置的第5实施方式中的光源装置的俯视图。图10是示意性地表示本专利技术的太赫兹波产生装置的第6实施方式中的光源装置的俯视图。图11是表示本专利技术的成像装置的实施方式的框图。图12是表示图11所示的成像装置的太赫兹波检测装置的俯视图。图13是表示对象物的太赫兹频带中的频谱的图表。图14是表示对象物的物质A、B和C的分布的图像的图。图15是表示本专利技术的测量装置的实施方式的框图。图16是表示本专利技术的相机的实施方式的框图。具体实施例方式下面根据附图所示的优选实施方式来详细说明本专利技术的太赫兹波产生装置、相机、成像装置以及测量装置。第I实施方式图I是示意性地表示本专利技术的太赫兹波产生装置的第I实施方式的立体图，图2是图I所示的太赫兹波产生装置的光源装置的截面立体图，图3是图2中的A — A线的截面图，图4是图2中的B — B线的截面图。另外，在图I中，放大表示了由虚线包围的部分。如图I所示那样，太赫兹波产生装置I具备基板181 ;设置在基板181上的装载(sub-mount)基板182 ;光源单元10，其设置于装载基板182，且具有并排设置的2个光源装置3a和3b，并且产生出射的时本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太赫兹波产生装置，其特征在于，具备：第1光源和第2光源，产生脉冲光；和天线，被由所述第1光源和所述第2光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波，所述天线具有隔着间隔而对置配置的一对电极，所述第1光源和所述第2光源被构成为，相互错开时刻来对所述一对电极间照射脉冲光。

【技术特征摘要】
2011.06.24 JP 2011-1410891.一种太赫兹波产生装置，其特征在于，具备 第I光源和第2光源,产生脉冲光；和 天线，被由所述第I光源和所述第2光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波， 所述天线具有隔着间隔而对置配置的一对电极， 所述第I光源和所述第2光源被构成为，相互错开时刻来对所述一对电极间照射脉冲光。2.根据权利要求I所述的太赫兹波产生装置，其特征在于， 所述脉冲光的照射时刻的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度。3.根据权利要求I或2所述的太赫兹波产生装置，其特征在于， 所述第I光源和所述第2光源分别是半导体激光器。4.根据权利要求I 3中的任意一项所述的太赫兹波产生装置，其特征在于， 所述第I光源和所述第2光源被一体化。5.一种太赫兹波产生装置，其特征在于，具备 第I光源、第2光源、第3光源和第4光源,产生脉冲光；和 天线，被由所述第I光源、所述第2光源、所述第3光源和所述第4光源产生的脉冲光照射而产生太赫兹波， 所述天线具有隔着间隔而对置配置的第I一对电极和第2 —对电极， 所述第I光源和所述第2光源被构成为，相互错开时刻来对所述第I 一对电极间照射脉冲光， 所述第3光源和所述第4光源被构成为，相互错开时刻来对所述第2 —对电极间照射脉冲光， 从所述第I光源发出的脉冲光和从所述第2光源发出的脉冲光中的至少一个、与从所述第3光源发出的脉冲光和从所述第4光源发出的脉冲光中的至少一个的相位不同。6.根据权利要求5所述的太赫兹波产生装置，其特征在于， 对所述第I一对电极间照射的脉冲光的照射时刻的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度，对所述第2 —对电极间照射的脉冲光的照射时刻的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度。7.根据权利要求5或6所述的太赫兹波产生装置，其特征在于， 从所述第I光源发出的脉冲光以及从所述第2光源发出的脉冲光、和从所述第3光源发出的脉冲光以及从所述第4光源发出的脉冲光的相位互不相同的脉冲光彼此的错开量小于该脉冲光的脉冲宽度。8.根据权利要求5 7中的任意一项所述的太赫兹波产生装置，...

【专利技术属性】
技术研发人员：富冈纮斗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：