太赫兹波检测装置、拍摄装置、成像装置以及计测装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及抑制由电噪声导致的检测灵敏度降低的太赫兹波检测装置、拍摄装置、成像装置以及计测装置。本发明专利技术所涉及的太赫兹波检测装置（100）包括：吸收部（60），其吸收太赫兹波并产生热；和转换部（30），其将由吸收部（60）产生的热转换成电信号，吸收部（60）具有：电介质层（62）；金属构造体（64），其设置于电介质层（62）的一侧的面（62a），并且相互分离以规定长度的周期排列有多个；以及金属层（36），其设置于电介质层（62）的另一侧的面（62b），金属构造体（64）的规定长度的周期小于被吸收部（60）吸收的太赫兹波的波长。

【技术实现步骤摘要】
太赫兹波检测装置、拍摄装置、成像装置以及计测装置
[0001 ] 本专利技术涉及太赫兹波检测装置、拍摄装置、成像装置以及计测装置。
技术介绍
近年来，具有IOOGHz以上30THz以下的频率的电磁波亦即太赫兹波备受关注。太赫兹波例如能够用于成像、分光计测等各种计测、无损检测等。作为对上述的太赫兹波进行检测的检测装置，如专利文献I所示，公知有具备了电阻体的电阻值因温度而变化的辐射热计测器的检测装置。具体而言，在专利文献I中记载有如下内容，即，若将太赫兹波照射至天线元件，则天线元件所接收的电力被供给至辐射热计测器(检测元件)而使辐射热计测器的电阻值变化，辐射热计测器两端的电压根据施加电流而发生变化，从而将太赫兹波的接收电力作为辐射热计测器的检测电压输出。专利文献1:日本特开2009-141661号公报然而，在专利文献I的太赫兹波检测装置中，为了对太赫兹波进行检测而必须对辐射热计测器施加电流，会由此而产生噪声，导致太赫兹波的检测灵敏度降低。
技术实现思路
本专利技术的一些方式的目的之一在于提供一种抑制了由电噪声导致的检测灵敏度降低的太赫兹波检测装置。另外，本专利技术的一些方式的目的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种太赫兹波检测装置，其特征在于，包括：吸收部，其吸收太赫兹波并产生热；和转换部，其将由所述吸收部产生的热转换成电信号，所述吸收部具有：电介质层；金属构造体，其被设置于所述电介质层的一侧的面，并且相互分离以规定长度的周期排列有多个；以及金属层，其被设置于所述电介质层的另一侧的面，所述金属构造体的所述规定长度的周期小于被所述吸收部吸收的所述太赫兹波的波长。

【技术特征摘要】
2013.02.21 JP 2013-0317891.一种太赫兹波检测装置，其特征在于，包括: 吸收部，其吸收太赫兹波并产生热；和 转换部，其将由所述吸收部产生的热转换成电信号， 所述吸收部具有: 电介质层； 金属构造体，其被设置于所述电介质层的一侧的面，并且相互分离以规定长度的周期排列有多个；以及 金属层，其被设置于所述电介质层的另一侧的面， 所述金属构造体的所述规定长度的周期小于被所述吸收部吸收的所述太赫兹波的波长。2.根据权利要求1所述的太赫兹波检测装置，其特征在于， 所述金属构造体的薄层电阻以及所述金属层的薄层电阻为10Ω/ □以下。3.根据权利要求1或2所述的太赫兹波检测装置，其特征在于， 所述转换部为热电传感器。4.一种太赫兹波检测装置，其特征在于，包括: 吸收部，其吸收太赫兹波并产生热，并且包括超材料；和 转换部，其将由所述吸收部产生的热转换成电信号。5.一种拍摄装置，其特征在于，包括: 太赫兹波产生部，其产生太赫兹波； 权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：富冈纮斗，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP