【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于精细化工
,具体涉及一种三苯基硫鎗盐制备新方法。
技术介绍
三苯基硫鎗盐作为一种新型光致产酸剂,在集成电路、半导体工业中248nm及以下深紫外光致抗蚀剂中得到广泛应用。此外,三苯基硫鎗盐还可以作为自由基、阳离子聚合的引发剂,在高分子材料工业中得到应用。关于三苯基硫鎗盐合成,已经公开报道的主要有5种方法( I)三氯化铝或三溴化铝催化法The Journal of Organic Chemistry, 1968, 33 (7) :2671-2675,报道了在大过量的三氯化铝或三溴化铝催化下,二苯亚砜与苯反应得到三苯基硫鎗盐。
【技术保护点】
一种三苯基硫鎓盐制备方法,其特征在于,该方法以苯、氯化亚砜、三氯化铝为原料,反应式如下所示:式中,M为碱金属或氢,其中,碱金属选择K或Na;X?为卤素阴离子或复合阴离子。FDA00002124535800011.jpg
【技术特征摘要】
1.一种三苯基硫鎗盐制备方法,其特征在于,该方...
【专利技术属性】
技术研发人员:李建,李娟利,杜渭松,刘建韬,张广平,别国军,杨学军,王新亮,
申请(专利权)人:西安彩晶光电科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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