【技术实现步骤摘要】
本实用 新型属于滤光片，尤其涉及成像光谱滤光片。
技术介绍
成像光谱系统硬件的核心器件包括照相镜头、成像光谱滤光片、成像探測器CMOS/(XD。成像镜头及成像探测器已经实现了エ业化生产，有多种型号的产品可以选用，所以设计与制备成像光谱滤光片就成为硬件系统的关键环节。成像光谱滤光片通常可能包含数万至数十万个像素元，并且尺寸范围在几个微米至20微米左右，所以无法想象使用机械组装的方式进行制备，而是采用半导体中的刻蚀技术与物理气相沉积技术相结合的方法，在同一个基片上制备各个透射波段的像素群。为了制备能够耐受各种恶劣环境的影响，同时保证光谱特性稳定的干渉薄膜系，通常使用荷能镀膜エ艺，使得膜层的微观结构非常致密。这种结构会在膜层的断面产生张应力，导致成像光谱滤光片的形变。此形变的尺度与基片的厚度有夫，基片愈厚，形变愈小，但是基片愈厚，图像会产生更大的象散，影响图像的质量。但如果使用的基片很薄(例如厚度为O. 3-0. 5mm)，形变增加，需要克服应カ效应。采用普通制备掩模和镀膜エ艺存在的问题I陷阱效应大在基片上制备掩模时，基片的裸露部分就构成陷阱，掩膜的厚度成为陷阱的深度...
【技术保护点】
一种成像光谱滤光片，它包括基片（1）、像素层（2），其特征在于：在基片（1）的正、反两表面都覆盖有像素层（2）。
【技术特征摘要】
1.一种成像光谱滤光片，它包括基片(I)、像素层(2)，其特征在于在基片(I)的正、反两表面都覆盖有像素层(2)。2.根据权利要求I所述的一种成像光谱滤光片，其特征在于正、反两表面的像素层(2)均为干涉薄膜系或一面为干涉薄膜系、另一面为彩色感光胶的组合。3.根据权利要求2所述的一种成像光谱滤光片，其特征在于所述的干涉薄膜系是指由Nb2O5和SiO2、或Ta2O5和SiO2膜层重复相间镀膜构成，即Nb2O5或Ta2O5和SiO2膜层相间，多次重复，每层膜的厚度各异。4.根据权利要求3所述的一种成像光谱滤光片，其特征在于干涉薄膜系的薄膜数目为20-80层。5.根据权利要求I所述的一种成像光谱滤光片，其特征在于基片(I)为光学玻璃或其他在工作波段透明的光学材料制成。6.根据权利要求2所述的一种成像光谱滤光片，其特征在于像素层(2)具有二维周期结构，相邻的η个波段像素为一个周期，η为大于或等于2的自然数，所述的二维周期结构是指在滤光片表面沿X或Y轴方向成像光谱滤光片按一定排列方式呈周期性排列，每个周期中包含η个不同的中心透过波长，所述每个周期波段像素只允许相应的一组波段的光通过，这组η个波段像素的几何形状和尺寸都是一样的，周期性排列的波段像素形成重复单元，该重复单元分别沿滤光片表面的X轴方向、Y轴方向重复排列，直至覆盖探测器的所有工作像素。7.根据权利要求6所述的一种成像光谱滤光片，其特征在于所述的二维周期结构排列方式是指沿Y轴方向即滤光片表面的宽度方向进行顺序排列，排好一列后再按顺序排第二列，一直到最后，最后...
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