一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于：该器件包括用于输入光信号的输入波导（1），两个输出波导，即第一输出波导（3），第二输出波导（4），多模干涉波导（5），输入波导（1）与第一输出波导（3），第二输出波导（4）之间通过多模干涉波导（5）连接；其中，多模干涉波导（5）为锥形；单波长光信号从输入波导（1）输入，在多模干涉波导（5）区域发生多模干涉，基于多模干涉的自成像效应，输入光经过自镜像长度再生，选自镜像长度作为该器件的长度。本实用新型专利技术具有结构紧凑、偏振不敏感、带宽高、制作容差性好，具有大的工作范围等特点。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及生物/化学物质的精确检测和集成光学传感领域，具体是ー种新型的基于硅基槽式波导的多模干涉型生物/化学传感器的结构。
技术介绍
生物化学传感器是能够直接提供周围的有关生物、化学物质的种类和浓度信息的传感器，并且从电子计算机、新型材料和微电子处理技术的发展中获得了发展动力，在环境监测、生物技术、医疗诊断、药物筛选、食品安全、环境和安全监控以及其他的ー些领域发挥着非常重要的作用。光学生物/化学传感器分为两大类标记型，无标记型的传感器。其中标记检测具有成本闻、耗时、易干扰等缺点；而无标记型传感器均具有灵敏度闻、响应快、实时检测、无标记、小型化易集成等特点，在分子检测、安全监控、生物技术等领域得到广泛的应用。 无标记型生物化学传感器主要有三种，它们分别是基于表面等离子体共振的，基于波导渐逝波的，基于多模干渉型的生物/化学传感器。其中基于前两种的传感器具有体积大、成本高、效率低等缺点，而多模干涉结构天然具有紧凑性、坚固性、容易制作和容差性好等优点，基于硅基槽式波导的多模干涉型结构的提出在光学传感领域是ー个创新的贡献。本技术设计的锥形多模干涉器件具有很高的可靠性，在大范围的生物和化学物品本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于：该传感器包括用于输入光信号的输入波导（1），两个输出波导，即第一输出波导（3），第二输出波导（4），多模干涉波导（5），输入波导（1）与第一输出波导（3），第二输出波导（4）之间通过多模干涉波导（5）连接；其中，多模干涉波导（5）为锥形；单波长光信号从输入波导（1）输入，在多模干涉波导（5）区域发生多模干涉，基于多模干涉的自成像效应，输入光经过自镜像长度再生，选自镜像长度作为该器件的长度。

【技术特征摘要】
1.一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于该传感器包括用于输入光信号的输入波导(I)，两个输出波导，即第一输出波导(3),第二输出波导(4),多模干涉波导(5),输入波导(I)与第一输出波导(3),第二输出波导(4)之间通过多模干涉波导(5)连接；其中， 多模干涉波导(5)为锥形； 单波长光信号从输入波导(...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖金标，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：实用新型
国别省市：