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本实用新型公开了一种基于硅基槽式波导的多模干涉型生物化学传感器，其特征在于：该器件包括用于输入光信号的输入波导（1），两个输出波导，即第一输出波导（3），第二输出波导（4），多模干涉波导（5），输入波导（1）与第一输出波导（3），第二输出波...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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